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航 空 学 报 Vol . 17 No . 1
第17卷 第1期
1996年 1月 ACTA A ERONAU TICA ET A STRONAU TICA SIN ICA J an . 1996
I TO 透明导电膜的制备及性能
岳锡华 赵 屹 张维佳
(北京航空航天大学 102 教研室 , 北京 , 100083)
PREPARATION AND PROPERTIES OF ITO
TRANSPARENT COND UCTING FILMS
Yue Xihua , Zhao Yi , Zhang Weij ia
( Faculty 102 , Beijing Univer sity of Aeronautics and Astronautics , Beijing , 100083)
摘 要 研究了用直流反应磁控溅射法在无机玻璃基片上制备 I TO 透明导电膜的工艺 ; 测试
了膜的电阻率 、对可见光的透射率及对垂直入射微波的反射率和透射率 ; 研究了反应溅射时
氧浓度 、溅射后退火气氛对电阻率和透光率的影响 ; I TO 膜方块电阻对微波反射率和透射率
的影响 。
关键词 I TO 半导体 膜 溅射 电阻率 透射率 反射率
中图分类号 V254 2 , TQ 13353
Abstract A process used to prep are I TO transp arent conducting films on inorganic glass substrates by
d . c . reactive magnetron sputtering is presented . The resistivity , visible light transmittance , reflec
tivity and transmittance to p erp endicularly incidenting microwaves of t he film have been measured .
The effect s of O2 concentration during reactive sputtering and annealing at mosp here after sputtering on
resistivit y and visible light transmittance , and t he effect of square resistance on reflectivity and trans
mittance of microwaves have been studied .
Key Words I TO films sputtering electrical resistivit y transmissivity reflectance
I TO ( Indium Tin Oxide) 膜由于其低电阻率 、高可见光透射率 、与玻璃基体结合牢
固、抗擦伤 , 良好的化学稳定性等优点 , 得到了越来越广泛的应用 。近年来 , I TO 膜还被
用作飞机座舱玻璃散射雷达波的隐身涂层 , 将雷达波散射到非有效空间方向 , 从而缩减了
飞机座舱的雷达散射截面 RCS 。此外 ,
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