GEM孔几何形状对GEM探测器性能影响分析.PDF

学术 交流 》》 GEM孔几何形状对GEM探测器性能影响分析 中国原子能科学研究院 单 超 李笑梅 胡守扬 周 静 蹇司玉 李兴隆 气体电子倍增器(GEM)因独特的电极结构，使其具有高计数率、高位置分辨以及高稳定性等优越性能。本文分析了GEM探测器因孔径大小、孔几何结构的不同对 【摘要】 探测器性能的影响，利用Maxwell 2D/3D有限元算法计算了不同孔结构孔中心线上的场强分布。 GEM；有限元计算；电子倍增 【关键词】 引言 构气体探测器中读出电极在放电过程中遭到损 分布的差异，又能够引起相应的探测器性能， Gas Electron Multiplier(GEM——气体 坏的问题，而且能同样的达到高分辨率和气体 比如气体增益、雪崩电子或正离子漂移扩散、 电子倍增器)是Fabio Sauli在1997年于CERN发 增益。 沉积位置等的不同，直接造成探测器物理性能 明研制的，属于新型的微结构气体探测器。其 GEM探测器的几何结构，包括膜上的孔 上的差异。模拟计算不同GEM孔几何结构的孔 独特的电极结构和探测器几何设置，使得GEM 径、孔型和孔间距这些参数选取对探测器制作 区域电场分布对于比较和理解探测器工作性能 具有高计数率、高位置分辨以及高稳定性等优 以及达到探测器良好性能指标来讲十分重要。 十分重要。 越性能。作为新型气体微结构探测器，它现已 1.GEM膜孔径大小对探测器性能影响 成为目前国际上几个大型实验设备建造或升级 为了获得足够高的增益，倍增区域的电场 的重要部分。 线强度必须足够高(10kV/cm)，这可以通过增 典型的单层GEM探测器示意图如图1所示， 加GEM两侧的电压差或者是减小孔径大小来实 它包括阴极层(Cathode)、漂移区(Drift Gap)、 现。从图2可以看到在相同条件下GEM有效增益 倍增区(GEM Foil)、收集区(Induction Gap) 与孔径之间的关系曲线。在孔径小于70μm区 和读出阳极(Anode)。 域，探测器有效增益趋于饱和。分析其原因是 因为随着孔径减小，孔间电场增加，但由于电 子横向扩散或孔面积减小等原因，电子的透过 率也相应减小，所以在小孔径范围内有效增益 饱和。因此，标准的GEM膜孔径在70μm左右， 同时这一饱和效应也使得探测器有效增益对 GEM膜制作工艺精度依赖性减小。 图1 典型的GEM探测器工作示意图 整个探测器外层为一个仅有工作气体流 图3 4种不同的GEM孔型 通的密闭腔室，腔室顶部为探测器窗口和阴极 层；中间是粒子倍增放大的GEM膜部分；最底 端是收集极（阳极），各个区之间的固定距离 由环氧树脂层作为间隔。流气系统通过气管从 相对两侧进出腔室，作为供电子雪崩的工作介 质。GEM膜是一种“三明治”结构，中间的基 板是一层厚度为50μm的绝缘介质聚酰亚胺， 两面镀上5-10μm的铜层。标准GEM(注：区别 于厚GEM——“ThGEM”)膜的制作工艺类似于 图2 GEM有效增益与孔径大小关系曲线 PCB柔性电路板的制作流程，经过掩膜、曝 （其中工作气体为Ar/CO(7:3)） 2 光、显影、去胶和化学蚀刻工艺，最后可以蚀 2.GEM膜孔几何形状大小对探测