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MBE 自组织生长多层竖直自对准InAs 量子点结构的研究 - 发光学报
183 Vol . 18No. 3
19979 CHINESE J OU RNAL OF LU MINESC ENCE S pt . , 1997
MBE 自组织生长多层竖直自对准
InAs 量子点结构的研究*
朱东海 范缇文 梁基本 徐 波 朱战萍
龚 谦 江 潮 李含轩 周 伟 王占国
( , , 100083)
MBE ( 00 1) GaA s InA s .
, . ,
. ,
. .
, ,
1 引 言
, S-K ,
[ 1, 2]
.
.
, , .
, 3D ,
. ( ) ,
, , .
( 001) GaAs , M BE InAs .
.
2 实验方法
Rib r 32p M BE . ( 001) GaAs . ,
580 . 600 0. 5 m GaAs ,
InAs . InAs 0. 2 m/ h, 505 .
5. InAs 3InAs
. InAs 0. 1 m GaAs . 5InAs
, InAs 14GaAs .
*
1997513
3 : MBE InAs 229
3 结果与讨论
, InAs GaAs ,
, , InAs GaAs
. . InAs GaAs ( 7. 2%) ,
. ,
, 3D . , 3D
. , .
3D .
( T EM) . 15
InAs TEM . , .
, , .
27 nm. ,
, . .
[ 3]
, 3D ,
3D . InAs GaAs , GaAs
, InAs 3D GaAs . , 3D
GaAs GaAs , GaAs
InAs . GaAs In
( GaAs 3D ) ( GaAs
3D ) , , InAs 3D
, . 2
( PL) , InAs
,
. 1. 254 V
1. 228 V, 26
m V. , 73 m V,
67 m V , 8. 2%.
.
. 15InAs T EM
, Fig . 1T EM im ag show ing columns of 5 lay rs
, v rtically align d InA s quant um dots.
. ,
, . GaAs
[ 4] [ 5]
. , T rsoff J . ,
, .
230 18
.
35. ,
. , ,
35
Fig . 3PL FWHM t mp ratur d p nd nc of
2 5 lay rs quant
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