射频电源中的阻抗匹配研究3 - 硬件和射频工程师.PDF

　第 25 卷第 2 期 　　　　　　　　　　　　　　 应 　 用 　 激 　 光 　　　　　　　　　　　　　　　Vol . 25 ,No . 2 　2005 年 4 月 　　　　　　　　　　　　　　　　 Ap ril 2005 A P PL I ED LAS ER 　　　　　　　　　　　　　　 射频电源中的阻抗匹配研究 曹锋光 　张德玲 　王新兵 　何云贵 (华中科技大学激光加工国家工程研究中心 , 　武汉 ,430074) 　　提要 　阻抗匹配是无线电技术中常见的一种工作状态 ,它反映了输入电路与输出电路之间的功率传输关系 。阻抗匹配 是功率放大器的核心技术 。本文以射频激励 CO2 激光器电源为例 ,根据传输线中高频电磁波的传播理论及一般的阻抗匹配 计算方法 ,推导出 1/ 4 传输线阻抗匹配的研究设计方法及计算有关参数的普遍公式 。这一结果同样适用于其它射频电源的阻 抗匹配研究 。 　　关键词 　阻抗匹配 　波长线 　CO 激光器 2 Research of the impedance matching in the RF Power f or the CO Lasers 2 γ Cao Fengguang 　Zhang Deling 　Wang Xinbing 　 He ungui ( γ γ ) S t ate E ng i nee ri ng R esea rch Cente r of L ase r P rocess i ng H uaz hong Uni vers i t of S cience an d Technolog , W uhan 430074 γ 　　Abstract 　The imp edance matching i s ver familiar in t he wireless t echnique . It reflect s t he t ran smi ssion of t he power be γ γ tween t he inp ut and t he outp ut circuit . It i s t he ke t echnique for t he power amp lifier . In t hi s p ap er , a CO2 la ser excit ed b RF di schar ge wa s t aken as an examp le , ba sed on general imp edance calculation met ho d and t he p rop agation t heories of t he elect ro magnetic wave , a general formula for selecting t he p aramet er