旭阳教育训练计划-第二章真空泵与真控规.ppt

个人简介 姓名：王 玺 年龄：26岁 爱好：运动，读书 联系方式： 手机哈尔滨) QQ : 386412560 课程要求： 上课认真听讲，注意重点； 考试范围全部涵盖在所讲内容之中； 缺课不要超过3次，有事情可以提前请假； 平时成绩30%+期末考试70%； 上节要点回顾： 1薄膜材料简介： 定义、分类，对薄膜材料的性能要求。 2真空技术基础： 定义、真空基本特点、真空度单位与区域划分。 上节要点回顾： 1薄膜材料简介： 定义、分类，对薄膜材料的性能要求。 2真空技术基础： 定义、真空基本特点、真空度单位与区域划分。 （1）真空的基本特点 在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程为： 由于上述原因，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为： （2）真空度的单位与区域划分 本节内容概述： 1获取真空的办法； 2测量真空度的办法； 真空度对薄膜质量的影响 压力的表述 U型管压差计 液柱式压力计（U型） 构成： 两端开口的垂直U型玻璃管 垂直放置的刻度标尺所构成 作用： 两气体压力差； 气体的表压(p1为测量气压，p2为大气压) 气体的绝对压力(令p2为真空，p1所示) 气体的真空度(p1通大气，p2为负压，可测其真空度) B、热电偶：用热电偶测定温度变化引起电动势变化的真空计 Q = Q1 + Q2 + Q3 热丝辐射 热丝传导 气体与热丝碰撞 其中，辐射热量和导线传到热量保持恒定；Q3与气体分子的碰撞（压强）成正比； 热电偶电势 ? (T1，T2) = e (T1)-e (T2) e (T1)、e (T2) 是接点的分热电动势 利用某种手段使进入规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成离子流；由于被测气体分子所产生的离子流在一定压力范围内与气体的压力成正比关系，通过离子流的大小反映出被测气体压强。 I+=kIeP 由阴极、阳极和离子收集极三电极组成。 电离真空计（测量高真空）： 灵敏度因气体种类而变 1~10-4 数秒~数分 几十% 利用磁场中的放电电流 磁控放电真空计 （潘宁真空计） 灵敏度因气体种类而变，对电极和管壁除气极为重要，应注意灯丝断裂 10~10-2 10-3秒 10~20% 利用热电子电离残余气体 肖鲁斯电离真空计 灵敏度因气体种类而变，热丝状态不同，零点变化。 103~10-2 (10-3) 数秒 10%以上 利用气体分子的热传导 皮拉尼真空计 （电阻真空计） 作用校正标准，不适宜测可凝性气体 10~10-3 (10-4) 数分 几%~ 几十% 根据压缩后的液柱差测量压力 麦克劳真空计 （压缩真空计） 作为校正标准，与气体种类无关 10-5~10-2 数秒 0.5托 根据液柱差测量压力 U形管压强计 其 它 工作压力范围（Pa） 反应 时间 精 度 原 理 名 称 几种真空计的特性 * * 鄭雷/設備組 真空系统组成考点 考点 找机械类同学讲述 河北东旭投资集团 郑雷/太阳能研究院设备组 牡丹江大学光伏学院教育训练计划 河北东旭投资集团有限公司 2011. 03.10 * * Silicon substrate Oxide 宽 长 厚 与衬底相比 薄膜非常薄 薄膜是指一种在衬底上生长的薄固体物质。如果一种固体物质具有三维尺寸，那么薄膜是指一维尺寸远远小于另外两维上的尺寸。 薄膜材料的简单分类 薄膜材料 涂层或厚膜 薄膜(1um) 材料保护涂层 材料装饰涂层 光电子学薄膜 微电子学薄膜 其它功能薄膜 (1um) (力,热,磁,生物等) 1.3 薄膜的分类 按功能和应用领域分为： 电学薄膜：导电、电阻、半导体、介电、压电、 铁电、超导、光电、传感、磁电、光能、电光。 光学薄膜：减反射、反射、分光滤光、光存储。 工程薄膜：耐腐蚀、防磨损、热传导、润滑。 生物医学薄膜：抗菌杀毒、生物活性 装饰包装薄膜：金、仿金TiN、铝箔 * 对薄膜的要求 Desired composition, low contaminates, good electrical and mechanical properties. 组分正确，沾污少，电和 机械性能好 Uniform thickness across wafer, and wafer-to -wafer. 每一硅片和硅片