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党智敏-2008-聚酰亚胺_介孔二氧化硅复合薄膜的介电性能研究
60 :/ 2008, 41(2)
/
1 2 1
马兰杰 , 杨志强 , 党智敏
(1. , 100029;
2., 100041)
:(PI)/(MCM -41)。X (X RD )、
(T EM ) MCM -41 , (SEM )
MCM -41 MCM -41 。
:PI 。P I , MCM -41 3.0%,
14 15
, 2.8×10 Ψ·m 2.1×10 Ψ·m, 3.26
2.86,。
:;MCM -41 ;; ;;
:TM 215.3 ;T Q323.7 :A :1009-9239 (2008)02-0060-04
Dielectric Pro erties of Pol imide/Meso orous
p y p
Silica Com osite Films
p
1 2 1
MA Lan-ie , YANG Zhi- ian , DANG Zhi-min
j q g
(1 .Key Laboratory of the Ministry of Education on Nanomaterials, Beij ing University of Chem ical
Technology , Beij ing 1000 9, China ;.Shougang Technical Research Institute, Beij ing 100041, China)
Abstract :Pol imide/meso orous sili a (PI/MCM_41) om osite films were re ared b usin in_situ dis-
y p p p p y g
ersive ol merization .The stru ture of hexa onal MCM_41 was observed with owder X_ra diffra -
p p y g p y
tion (XRD)and transmission ele tron mi ros ope (TEM).Meanwhile, the dispersion of MCM_41 was
observed with s anning ele tron mi ros ope (SEM).Moreover, the dependen e of diele tri properties
of the om osite films on MCM_41 loadin was studied.The results show that the volume resistivit
p g y
a
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