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135 具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统 - 本原扫描探针 .pdfVIP

135 具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统 - 本原扫描探针 .pdf

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    第卷第期仪器仪表学报年月具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统田孝军王越超刘连庆焦念东董再励席宁中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室沈阳中国科学院研究生院北京摘要在基于原子力显微镜的纳米操作过程中由于缺乏实时反馈信息造成纳米操作效率低下且灵活性差同时探针因受力过大而损坏为此本文通过对探针受力悬臂变形进行建模并根据实时检测到的悬臂变形信号新的参数获取与校准方法从而获取探针所受的实时三维纳米力将此三力经比例放大后送入力触觉设备进行感知操作者就可以实时调节施加在探针上力的大小及探针的运动轨迹

    第 27 卷 　第 7 期 仪 器 仪 表 学 报 Vol27 No7 2006 年 7 月 Chinese J ournal of Scientific In st rument J ul 2006 具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统

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