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溶胶_凝胶法制备Au_BaTiO3纳米复合薄膜及其介电性能_武英杰1_2_王海玲
网络出版时间:2015-01-16 08:26
网络出版地址:/kcms/detail/31.1363.TQ0826.015.html
第 30 卷 第 2 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 30 No. 2
2015 年 2 月 Journal of Inorganic Materials Feb., 2015
文章编号: 1000-324X(2015)02-0207-07 DOI: 10.15541/ji
溶胶–凝胶法制备 Au-BaTiO3 纳米复合薄膜及其介电性能
1,2 2 2 1,2,3 3
武英杰 ,王海玲 ,宁兴坤 ,王占杰 ,王 强
(1. 东北大学 材料与冶金学院,沈阳 110819,2. 中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家实验室,沈阳 110016,
3. 东北大学 材料电磁过程研究教育部重点实验室,沈阳 110819)
摘 要: 采用溶胶–凝胶法在 Pt/Ti/SiO /Si 基板上制备了 Au-BaTiO 纳米复合薄膜, 并且对其晶体结构、微观组织
2 3
和介电性能进行了研究。结果表明, Au 在复合薄膜中以直径为 5 ~ 22 nm 的 Au 纳米粒子弥散地分布在 BaTiO3
基体中。Au 的添加量对复合薄膜的介电性能和表面形貌有很大影响, 其最佳添加量约为 5mol% 。复合薄膜经过
550 ℃的低温退火已经完全结晶为钙钛矿相, 其介电常数与 700 ℃退火的纯 BaTiO3 薄膜的相当。在 Au-BaTiO3
复合薄膜的结晶过程中, 一方面, Au 纳米粒子可能促进了中间相的分解; 另一方面, Au 纳米粒子诱发了钙钛矿
相的异质形核, 促进了 BaTiO3 的结晶化。因此, Au 纳米粒子大幅度地降低了复合薄膜的退火温度, 并显著提高
了复合薄膜的介电性能。
关 键 词: BaTiO3; 纳米复合薄膜; 溶胶–凝胶法; 介电性能; 结晶化
中图分类号: O469 文献标识码: A
Dielectric Properties of Au-BaTiO Nanocomposite Films Prepared
3
by Sol-Gel Method
1,2 2
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