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第5章真空获得-机械真空泵
使用 启动泵 一定的转向和转速 冷却 关泵 回油 放气 电磁阀 Great for pumping on air 2X-2(2L/s) ¥ 1500 维护费用低 防止水汽、杂物(尤其腐蚀性物质)进入泵油 旋片泵小结 压强范围 大气压---10-3Torr 优点 可靠 价廉 抽大气 缺点 噪音 脏 油 大且重 分 子 泵 分子牵引 基本原理:动量传输 分子流条件下,碰撞运动表面的分子,离开表面时具有和运动表面速率u相近的切向速率 气体分子从具有运动的表面得到定向动量 牵引分子泵-Gaede泵 λ h 特点: 分子平均速度越大,S越大 10000转/分 UB UL和气导相关,反比M1/2, M越大,S越大 优点: 启动时间短 容易抽重气体分子 缺点: 密封间隙太小(h0.1mm) 加工精度,机械故障 UCD: 从C迁移到D的气量 UB: 逆扩散(p1p2) UL: 缝隙漏率 UDC: 逆时针返流 涡轮分子泵 轴向交错排列的转子和定子,转速16000-40000 叶轮很薄(3mm),单极压差很小,但数量很多(多级) 转子直径越大,要求叶片数量越多 倾角越小,压缩比越大,但抽速小 一般20度 单极压缩~5 开缝(间隙1mm) 具有实用价值 抽速曲线 10-3Torr 抽速恒定 10-2Torr 取决于前级泵 几乎与种类无关,M较小时S略降低 但对氢抽速比空气抽速大20% 逆扩散,极限压强10-10Torr a: 抽速45m3/h前级泵 b: 抽速10m3/h前级泵 稳态(S=0)时M越大,压缩比越大 H2 1000 N2 108 Ar 109 重氢化合物 1010 涡轮分子泵基本结构 以中型涡轮分子泵为例 横式:中部为高真空端,两端为前级 高真空端定子和转子各12片,每片开槽48条,θ=30o 前级端定子8片,转子7片,每片开槽20条, θ=15o 转速16000转/分(外沿线速度150m/s) 最大抽速 140L/s 压缩比 k=5x10-7 经过300度烘烤后,极限压强pu10-10Torr 横式和立式分子泵比较 横式 立式 泵体T型双端,造价贵 异物落入时不损伤叶片 寿命长 噪声大 泵体直圆筒型,造价低 异物落入引起损伤 平衡轻微变化会造成不稳定 轴承损伤后不易更换 涡轮分子泵系统 应用 最高工作压强 10-2-10-1Torr之间 需要前级泵 电源 专用中频电源 启动电机,5min后转速稳定,泵正常工作 强迫冷却 极限压强 取决于最轻气体成分 He 涡轮分子泵小结 启动压强 10-2Torr 极限压强 10-10Torr 优点 无油泵,干净 排出气体 缺点 振动 价格昂贵 相对效率低 对He 抽速较低 机械损坏-灾难性损坏 罗茨泵 原理 容积压缩+分子牵引 结构 两个双叶型转子 相反方向运转 运转过程中紧密配合,不互相触及,也不触及泵体 压缩比低,返流大(前级真空) 无摩擦,转速高,相对抽速大 罗茨泵工作图 特性 抽速曲线 低压下效率高 间隙流导减小 10-2Torr最高 必须配备前级泵 罗茨泵组 罗茨泵和旋片泵配合工作 吞吐量较旋片泵高 “干式”泵 湿泵(油泵) 返油,油分子污染 干式泵 没有润滑液体的容积压缩泵 罗茨泵的问题 不能从大气开始 压缩比比较小 各种各样的干式机械压缩泵 组合在一起构成干式泵 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 真空物理与技术 第5章 真空获得(机械真空泵) 第5章 真空获得 真空泵概述 机械式真空泵 旋片泵 分子泵 罗茨泵 气流泵 扩散泵 俘获泵 吸附泵 低温泵 升华泵 离子泵 真空泵概述 什么是真空泵? This is not a trivial question! 能对空间排气(减少气相分子数,产生低压空间)的设备 通过容积压缩排气 ( Bulk action) 机械压缩 动量传输( molecular action ) 分子直接碰撞 夹带:和其他分子碰撞 降低空间气体分子浓度: 气体分子储
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