半导体产业的绿色之路.pdfVIP

PRoCESSING 工艺与制造 MANUFACTURING 半导体产业的绿色之路 目前可持续性已经成为新的焦点，其部分表现是半导体产业正在建造符合LEED认证的新工厂(和 实验室)。当然同时还有减少对能量和水的消耗，以及最小化有害废弃物和排放的要求。 导体制造工厂每天可以消耗一万个家 材料。设计人员正转向采用自然天窗、太阳能、 Peter Singer _▲ _ 庭一年使用的电力(170，000 Mw)和 净化池、反射式屋顶和水泥来降低成本。还可以 高达三百万加仑的水。其年度运转帐 通过智能化、网络化的照明系统以及优化设备 单就高达2000万到2500万美元。 运行来解决能量，例如在不使用时将真空泵的 那些只是新半导体制造工厂环境变得更加 状态调整为 “休眠模式”。工厂还在寻找水和化 友好而转向“绿化”的部分原因。新的方法不仅 学品的循环利用以及降低有害废弃物数量的新 降低电力和水的使用，还致力于降低全球变暖 方法。 气体排放、挥发性有机化合物 (VOC)和有害 降低成本并不是这种新绿化运动的唯一原 因。它也是被称为可持续性运动的一部分，需要 将经济、环境和社会发展方面的考虑加入到企业 文化中。可持续系统可以提供不耗尽资源的服 务，并且有效地利用所有环境和经济资源。 目前美国绿色建筑委员会开发的领先能源与 环境设计(LEED)评级系统正在规范最终的“绿 色”建筑设计。该系统推崇“完全建筑”的概念， 用以实现可持续性，该方法对五个关系到人类和 环境健康的关键领域进行评价 开发可持续的选 址、节约水、节能、材料选择和室内环境质量。 这些标准可以用于新的结构和现存的建筑。 尽管还没有开始运行，德州仪器 (TI)在德 州Richardson的工厂，是世界上首个“绿色的”、 按照LEED一认证进行设计的半导体制造工厂 (图1)。该厂主要采用300 1TI1TI晶圆制造45 nnl 产品。在92英亩的土地上，其建筑物的占地面 积为1 10万平房英尺，其中包括办公、机械、支 持和制造区域 (图2)。