ZnO薄膜研究进展.pdfVIP

第 卷第 期 功能材料与器件学报 2 + E/;0 2C ./0 + 年 月 ’##’ 3 L6Ka.JF 6b bK.\HD6.JF ZJH7aDJFS J.G G7ED\7S SA_B0C ’##’ 文章编号! ##$ % ’(’ ) ’##’ * #+ % #+#+ % #, 456 薄膜应用的最新研究进展 吕建国 汪 雷 叶志镇 赵炳辉 C C C （ ） 浙江大学 硅材料国家重点实验室C 浙江 杭州 + ##’$ 摘要： 是一种新型的 族半导体材料。详细介绍了 薄膜在太阳能电池、表面声 456 DD % ED 456 波器件、气敏元件、压敏器件等领域的应用以及在紫外探测器、 、 等潜在应用领域研究开 F7G FG 发的最新进展。 关键词： 薄膜；特性；开发应用 456 中图分类号： I 文献标识码： H.+#0 ’ - H.+#+ J !#$%’ (% )’*’$)+ ,% $--.($/(,%* ,0 1%2 /+(% 0(.3* FK L:95 % ?/C MJ.1 FA: C N7 4O: % POA5C 4QJ6 R:5 % O?: ) SB9BA TAU F9V/W9B/WU /X S:;:Y/5 Z9BAW:9;C 4OA=:95 K5:AW[:BUC Q95PO/? + ##’$C \O:59 * ： !4*/)$/ J[ 9 5/A; 89BAW:9; /X DD % ED [A8:Y/5]?YB/WC 456 BO:5 X:;8 :[ ?[A] ^:]A;U 95] AXXAYB:A;U :5 BOA X:A;][ /X [?WX9YA 9Y/?[B:Y ^9A ]A:YA[C [/;9W YA;;[C 9[ [A5[/W[C 9W:[B/W[ 95] [/ /5C ^O:YO 9WA :5BW/]?YA] :5 ]AB9:;0 HOA _WA[A5B ]AA;/_8A5B X/W ?;BW9:/;AB ]ABAYB/W[C F7G[ 95] FG[ /X P:5Y /‘:]A BO:5 X:;8[ 9WA WA:A^A] 9[ ^A;;0 ： ； ； 5’6 7,)* 456 BO:5 X:;8 _W/_AWBU ]AA;/_8A5B 95] 9__;:Y9B:/5 外探测器、 、 等领域也有着巨大的发展潜 引言 F7G[ FG[ 456 是一种新型的DD % ED 族宽禁带化合物半导 力。 年 月，在美国召开了首届 专题国 体材料，与19. 具有相近的晶格常数和禁带宽度， 333 # 456