激光等离子体极紫外光刻光源 - 中国光学.pdf

第远卷摇 第员期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援远摇 晕燥援员 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员猿年圆月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 云藻遭援圆园员猿 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员猿冤园员鄄园园圆园鄄员源 激光等离子体极紫外光刻光源 窦银萍袁孙长凯袁林景全鄢 渊长春理工大学理学院袁吉林长春员猿园园圆圆冤 摘要院研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一要激光等离子体极紫外光刻光源遥 简要介绍了欧美和日本等国极紫外 光刻技术的发展概况袁分析了新兴的下一代员猿郾缘灶皂极紫外光刻光源的现状袁特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光 刻光源的现状袁指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑遥 文中同时概述了远郾曾灶皂 渊远郾缘耀远郾苑灶皂冤极紫外光刻光源的最新研究工作遥 最后袁介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩 模缺陷检测方面开展的研究工作遥 关摇 键摇 词院极紫外光刻曰激光等离子体曰极紫外光源曰转换效率 中图分类号院栽晕猿园缘援苑曰韵缘猿怨摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员猿园远园员援园园圆园 蕴葬泽藻则鄄责则燥凿怎糟藻凿责造葬泽皂葬造蚤早澡贼泽燥怎则糟藻枣燥则 藻曾贼则藻皂藻怎造贼则葬增蚤燥造藻贼造蚤贼澡燥早则葬责澡赠 阅韵哉再蚤灶鄄责蚤灶早袁杂哉晕悦澡葬灶早鄄噪葬蚤袁蕴陨晕允蚤灶早鄄择怎葬灶鄢 渊悦燥造造藻早藻燥枣杂糟蚤藻灶糟藻袁悦澡葬灶早糟澡怎灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园圆圆袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院造蚤灶躁蚤灶早择怎葬灶岳糟怎泽贼援藻凿怎援糟灶 粤遭泽贼则葬糟贼院蕴葬泽藻则鄄责则燥凿怎糟藻凿孕造葬泽皂葬渊蕴孕孕冤 耘曾贼则藻皂藻哉造贼则葬增蚤燥造藻贼蕴蚤贼澡燥早则葬责澡赠渊耘哉灾蕴冤 造蚤早澡贼泽燥怎则糟藻袁燥灶藻燥枣贼澡藻 糟燥则藻贼藻糟澡灶燥造燥早蚤藻泽燥枣灶藻曾贼早藻灶藻则葬贼蚤燥灶造蚤贼澡燥早则葬责澡赠袁蚤泽凿蚤泽糟怎泽泽藻凿援 粤遭则蚤藻枣则藻增蚤藻憎贼燥贼澡藻凿藻增藻造燥责皂藻灶贼泽蚤贼怎葬贼蚤燥灶燥枣造蚤鄄 贼澡燥早则葬责澡赠贼藻糟澡灶燥造燥早赠蚤灶耘怎则燥责藻袁粤皂藻则蚤糟葬葬灶凿允葬责葬灶蚤泽早蚤增藻灶援 月藻蚤灶早葬灶藻憎造赠葬则蚤泽藻灶则藻泽藻葬则糟澡凿蚤则藻糟贼蚤燥灶袁贼澡藻泽贼葬鄄 贼怎泽燥枣灶藻曾贼早藻灶藻则葬贼蚤燥灶员猿郾缘灶皂耘哉灾蕴泽燥怎则糟藻蚤泽葬灶葬造赠扎藻凿袁葬灶凿藻泽责藻糟蚤葬造造赠贼澡藻则藻泽藻葬则糟澡燥灶耘哉灾蕴泽燥怎则糟藻遭葬泽藻凿 怎责燥灶蕴孕孕葬贼澡燥皂藻葬灶凿葬遭则燥葬凿蚤泽凿藻泽糟则蚤遭藻凿葬灶凿葬灶葬造赠扎藻凿蚤灶凿藻贼葬蚤造援 陨贼责燥蚤灶贼泽燥怎贼贼澡葬贼贼澡藻皂葬蚤灶责则燥遭造藻皂泽枣燥则贼澡藻 耘哉灾蕴葬则藻澡燥憎贼燥蚤皂责则燥增藻贼澡藻糟燥灶增藻则泽蚤燥灶藻枣枣蚤糟蚤藻灶糟赠燥枣耘哉灾造蚤早澡贼葬灶凿澡燥憎贼燥则藻凿怎糟藻贼澡藻造蚤早澡贼凿藻遭则蚤泽援 云怎则贼澡藻则鄄 皂燥则藻袁贼澡藻造葬贼藻泽贼则藻泽藻葬则糟澡泽贼葬贼怎泽燥灶贼澡藻耘哉灾蕴泽燥怎则糟藻葬贼远郾苑灶皂蚤泽葬造泽燥责则藻泽藻灶贼藻凿援 云蚤灶葬造造赠袁蚤贼蚤灶贼则燥凿怎糟藻泽贼澡藻则藻鄄 泽藻葬则糟澡憎燥则噪燥枣贼澡藻葬怎贼澡燥则忆泽早则燥怎责燥灶耘哉灾蕴造蚤早澡贼泽燥怎则糟藻泽葬灶凿贼澡藻凿藻贼藻糟贼蚤燥灶燥枣 皂葬泽噪凿藻枣藻糟贼枣燥则耘哉灾蕴援 运藻赠憎燥则凿泽院耘曾贼则藻皂藻 哉造贼则葬增蚤燥造藻贼 蕴蚤贼澡燥早则葬责澡赠渊耘哉灾蕴冤曰蕴葬泽藻则鄄责则燥凿怎糟藻凿 孕造葬泽皂葬渊蕴孕孕冤曰耘曾贼则藻皂藻 哉造贼则葬增蚤燥造藻贼 渊耘哉灾冤泽燥怎则糟藻曰悦