基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺.pdfVIP

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2017-07-19 发布于北京
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基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺.pdf

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第卷第期西安交通大学学报 3789! : ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! 年月 ! 5;9#$$% #$$% ’()*+,’-./0+*/+’1’*2 (*/34)5/16 基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺王权岱!段玉岗!丁玉成!卢秉恒!张亚军 !西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安# =$$? 摘要$针对目前微电子机械系统 #制造中存在的三维加工能力不足的问题!将压印光刻技术和分层 I4I5 制造原理相结合!研究了三维制造的新工艺采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统!对正精 I4I5 9 度达到通过降低黏度和固化收缩率!兼顾弹性和固化速度!开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀 # B9 $ 剂材料!并进行了匀胶$压印和脱模工艺的优化实验通过原子力显微镜对压印结果进行了分析!分析结果表 9 明!图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于 !具有制作复杂微结构的能力!同时也为的制作提供了 @^ I4I5 一种高效低成本的新方法9 关键词$压印光刻%分层制造%微电子机械系统%对正中图分类号$ % 文献标识码$ 文章编号$ ! # 1bD#E 1bD! + $#%!@=.#$$%$$?D$? ! ! ! ! ! S(F+N’’F$1T-*#$1-5$(.G#(1%%$.0$1#(C+15#(.$1012-.$1-+ !%53U-%8(.S-.(;3 #$.56$52(#-2 B 7 7 B E#’ S*#’)#. ?*#’,* #’ ?.’ ,*0’ G*.’ ’ !#’ ,#*’ ( ( ( ( ( ( ( ( I ! # 5OJO;\; ,JW7NJO7N H7NIJKTHJFOTNLK 5 CO;BC4KLK;;NLK .L0JKLJ7O7K (KLP;NCLO .L0JK=$$? RGLKJ Q Q M Q M M M Q $ ! # =*%5#-15 dJC;U7KOG;KJK7VLB NLKO8LOG7NJG */, F7BWLKLK YLOG8J ;N;U