基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造.pdfVIP

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2017-07-19 发布于北京
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基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造.pdf

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第2卷第2期纳米技术与精密工程 Vol一2No·2 2(K)4 2004年6月 Na肿t盹hnolo科蛐d脚ecj商蚰Eng_m∞血嚷 Jun ofProbesforPronle of Fabrication Micro．EDMManufactured Components KAWADA Masayoshil，M17I_sUIKimiyuki2 244_8510，Japan (1．BridgestoneCo。PorBtion，lKashio-cho，T0tuka．ku，Yokohama，KanagBwa ofMechanical 2．Depanment Engin神d“g，Ke沁university，3—14-1Hiyoshi， K0uhku-ku，YokohBma，K卸89awa223—8522，J8”“) ordertofacilitatetheadvance皿entofmicm—fab—caLionandmicmmachine of Abstract：In measurementmethodsforbot}l anddimensionof arees唧ti甜．0ne0f曲∞methodsBvailablefor profjle IIlicro—components thisi8H哪llthree—dimensional with must pm6leⅢ髓surementapparatusmicr。一probes．F0rsuch明8pparatus．廿把pmbes befabricated di毗h甜gemachining wi山op垃m且Ish叩。for 0f 0f has 5mall f缸ceⅡnd forhbncationVadous (micm．EDM)whichextrernelymachimng i8印plicable oyp8spmbes。诂 of to whicha弛installedthesmaUth唧dimensionalmeasu打ng us副r0‘pmbemanufacludng．V“oustyPespmbes pr06le b船edon of fab—cated scanning byth。pmP吣ed 印pamtus p—nciPk tunneliogⅢjcmscopy(sTM)aIcme【