溶胶凝胶法制备zno-ruo2透明半导体薄膜之特性研究 - 远东科技大学.pdfVIP

遠東學報第二十八卷第三期 中華民國一百年九月出版 溶膠凝膠法製備 ZnO-RuO2 透明半導體薄膜之特性研究 Characteristics of Sol-Gel Derived ZnO-RuO2 Transparent Semiconductor Films 鄭建星 遠東科技大學材料科學與工程系助理教授 楊博文 成功大學材料科學及工程系學生 摘 要 ZnO 在可見光的照射之下呈現透明 ，RuO2 為黑藍色的氧化物且具有良好 的導電性(電阻率35 Ω-cm) 。當在ZnO 中加入RuO2 ，則所製造出來的ZnO- RuO2 薄膜可具有透明性，同時藉由 RuO2 的添加亦可調變其導電性。本研究 以三氯化