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美国MicroE 微光栅编码器在直线电机及直接驱动领域的应用 摘要：随着直线电机和直接驱动技术的发展，直线电机及直接驱动技术已经广泛应用于电子 生产设备和精密数控机床领域。其低惯性矩、高加速度、高速度的特点提高了电子生产设备 的生产效率，满足了从晶圆到集成电路以及PCB 组装日益增长的生产需要。 传统的光栅编码器在数控和伺服领域得到的了广泛的应用，但在直线电机和直接驱动领 域受到了来自美国GSI 集团公司MicroE 光栅编码器的挑战。MicroE 光栅编码器具有抗电磁 干扰能力强、高速度、小尺寸和使用灵活方便的优势，近年来在直线电机和直接驱动应用领 域被广泛采用。 MicroE 光栅编码器采用独特的光学系统，应用了大规模集成电路和FPGA 技术，配合 先进的软件算法，使其在同样分辨率的情况下做到尺寸最小，重量最轻，速度最快，安装误 差要求最低；配合MicroE 公司提供的PC 端软件，客户可以自己定制编码器的分辨率和工 作频率，方便了在不同场合的应用，减少库存要求；MicroE 编码器另一个显著的特点是同 一读数头可以读取不同类型的光栅，适应金属和玻璃光栅，圆形和直线光栅通用。 本文从几个典型设备的应用，介绍MicroE 光栅编码器与直线电机配合使用的特点和效 果。包括IC 封装测试设备、PCB 贴片设备、激光加工设备等领域。 关键词：直线电机、光栅编码器、MicroE 、…… 1.引言 直线电机和直接驱动技术在机电设备上的应用越来越广泛，目前在数控机床、精密测量、 激光加工、晶圆制造、IC 封装测试、PCB 组装等设备领域都能找到典型的范例。由于这类 设备对速度、加速度和精度的要求按照摩尔定律的模式上升和提高，旋转伺服电机加丝杠的 控制模式已经不再适应其需要，取而代之的是直接驱动电机加直接反馈的模式。 作为直接驱动电机系统的直接反馈装置，光栅编码器发挥了重要作用。与其它的反馈装 置相比较，光栅编码器无论在性价比还是在易用性等方面都有很大的优势。 对于采用直接反馈的直接驱动系统，一般来说对反馈装置都会有以下几方面的要求：精度和 速度根据设备要求变化、安装难易程度越简单越好、尺寸尽量小一些、抗污染能力更强、库 存少、价格有优势等等。从应用的角度，美国GSI 集团MicroE 光栅编码器在这些方面可以 很好的满足要求，在很多使用直线电机和直接驱动的场合得到广泛应用。MicroE 光栅编码 器最高运行速度7.2 米/秒，最高分辨率1.2 纳米可以满足高精度高速度应用；独有的可编程 特性可以由用户现场改变分辨率和频率，配置灵活，可以有效地减少设计工作量和库存；微 型尺寸占用最少的安装空间，方便地嵌入到运动系统之中；具备最宽泛的安装误差，有效减 少安装调试的时间；部分型号同一读书头可以选配金属尺带式光栅或玻璃光栅，圆光栅或直 线光栅的特性，使得MicroE 光栅的应用范围更加广泛，灵活配置，大大减少库存品种和数 量；智能化的PC 端软件为编码器的安装调试、性能评估和故障诊断提供了便利。 2.MicroE 编码器产品特点 自上世纪九十年代起，美国MicroE 系统公司的精密光栅和运动控制产品开始在硬盘生 产、电子设备等领域得到重视和应用。到目前为止，其光栅编码器产品已经行程完整的系列， 可以满足众多领域的需要，促进了直接驱动和直接反馈技术的发展。 MicroE 光栅产品采用了PurePrecision 光学结构，拥有多项专利技术（图1）。该项技术 保证MicroE 编码器周期高倍差补细分情况下信号的高强度和准确性，使其细分倍数可以达 到16384；而且测量范围大，对安装调整公差要求很宽松；实现了编码器读数头的微型化。 图1 PurePrecision 光学结构 MicroE 编码器独特的可编程功能对工业控制，尤其是多品种、小批量的工业设备生产 带来了很大的好处，可以有效地减少设计工作量，减少库存品种和数量。其可编程特性主要 体现在可以对编码器信号进行规定范围内的整数倍细分，如M2000 编码器可以4 到256 倍 细分，MII4800 编码器可以4 到16384 倍细分，客户可以根据控制系统的要求、设备精度指 标以及工作速度的要求优化选择分辨率，不需更改设计和编码器的选型；信号输出的频率可 以根据运动控制器或信号采集设备的接收能力分档次控制，保证输出信号的可靠性。 这些功能得益于MicroE 的SmartP