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频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化
基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化——— 隆志力 韩 雷 祝孟鹏等
基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化
１ ２ ２ ３
隆志力 韩 雷 祝孟鹏 张亮亮
， ， ， ，
哈尔滨工业大学深圳研究生院 深圳 中南大学 长沙
１． ５１８０５５ ２． ４１００８３
， ，
东莞华中科技大学制造工程研究院 东莞
３． ５２３８０８
： ，
摘要 针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题 提出了一种基于频率灵敏度
。 ， ，
方法的换能器结构优化设计方法 以芯片键合超声换能器为例 采用模态频率灵敏度的方法 通过最小
， ，
量地修正变幅杆的直径 实现轴向工作频率与其他非工作频率的分离 有效地抑制了工作频率附近杂散
， ，
的非工作模态对自身模态的干扰 确保在工作状态下换能器被驱动在单一的工作频率 从而提高了超声
能量输出的稳定性。
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关键词 频率灵敏度 结构优化 超声键合 换能器
中图分类号： ： ／
ＴＮ１４ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１２．０４．０１３
ｊ
ＳｔｒｕｃｔｕｒｅＯ ｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆＵｌｔｒａｓｏｎｉｃＢｏｎｄｉｎ ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒＢａｓｅｄｏｎＦｒｅ ｕｅｎｃ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔ Ｍｅｔｈｏｄ
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１ ２ ２ ３
Ｌｏｎ Ｚｈｉｌｉ ＨａｎＬｅｉ ＺｈｕＭｅｎ ｅｎ Ｚｈａｎ Ｌｉａｎ ｌｉａｎ
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１．ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ ＳｈｅｎｚｈｅｎＧｒａｄｕａｔｅＳｃｈｏｏｌＳｈｅｎｚｈｅｎ Ｇｕａｎ ｄｏｎ ５１８０５５
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