无衍射光莫尔条纹法直线度测量仪.pdf

第24卷第l期 仪 器 仪 表 学 报 2003年2月 无衍射光莫尔条纹法直线度测量仪 赵 斌 (华中科技大学机械科学与工程学院仪器系 武汉 430074) 摘要 提出用无衍射光和环光栅重叠产生环状莫尔条纹的技术进行空间直线度测量的技术，给出了理论分析、仪器结构和原 理实验 ，并对该方法在同时实现高分辨率和大量程直线度测量的可能性，以及抗激光器漂移等方面的特点进行了讨论。 关键词 无衍射光 莫尔条纹 直线度 Instrument for Straightness M easurement using Non—diffracting Beam and M oirefringe zhao Bin (SchoolofMechanicalSci． Tech．，Dept．ofInstrumentation，HuazhongUniv．，Wuhan430074，China) Abstract A methodofspatialstraightnessmeasurementbythemethodofsuperpositioningthenon—diffracting beam andringgratingtogeneratemoirefringeisproposed．Theoreticalanalyses，instrumentstructureandprin— cipleexperimentaregiven．Somecharacters，suchasthepossibilityofmaintainhighsensitivityandlargemea— surementrangesimultaneously，resistancetolaserbeam draftarediscussed． Keywords Non—diffractingbeam Moir6fringe Straightness． 1 引 言 度、精度都较高，也是 目前应用得较多的，但对激光器 的稳定性要求很高，且有一路光只能做一维测量、测量 在直线度测量和准直操作中，都需要一个直线的 时记数不能中断等缺点；波带片、相位板等衍射方法可 基准。由于光的直线传播性 ，人们可将光作为一种直线 以克服光强不均匀的误差，但衍射十字丝的成像位置 基准。然而，将光作为基准却有许多种不同的方案n]： 却是不连续的，若调焦则必然产生调焦误差。总的来 传统的经纬仪、水准仪、自准直仪等非相干光仪器在理 说 ，基于光能量的方法精度和稳定性较差，基于干涉和 论上都是将分划板十字丝在像空间的轨迹作为直线基 衍射的方法则较好，但仍有不足和不方便之处。本文介 准 ，但调焦误差难以消除；普通的激光准直仪是利用扩 绍一种利用无衍射光的圆环光斑进行空间直线度测量 束准直的激光束，以其能量重心的轨迹作为 自然直线 的技术，该技术不需调焦 、受激光漂移影响小、测量信 基准，但它受诸多因素的影响，例如激光器热变形而导 号可中断、可测二维直线度、操作方便。 致的激光束漂移和模式变化，激光光斑本身的非轴对 称性而导致的光斑能量中心的衍射传播轨迹的非直线 2 仪器工作原理与结构 性 ，光电位置探测器的非线性、噪声等导致的误差；各 种类型的激光直线度干涉测量仪都是设法形成互成角 图1所示测量仪工作过程如下：激光器发出的激 度的两束光 ，以其干涉等光程位置作为直线基准，灵敏 光经扩束准直后照射在一个圆锥透镜上 ，该镜锥角为 e(母线与底面夹角)，于是出射