激光器腔镜夹持方式对热变形的影响.pdfVIP

　第 15 卷 　第 8 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 15 ,No. 8 　 　2003 年 8 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Aug. ,2003 　 文章编号 : (2003) 激光器腔镜夹持方式对热变形的影响 孙 　峰 , 　程祖海 , 　张耀宁 , 　余文峰 , 　周次明 ( 华中科技大学 激光技术国家重点实验室, 湖北 武汉 430074) 　　摘 　要 : 　分析了当前大功率激光器腔镜采用的几种夹持方式特点 ,采用有限元软件计算了腔镜不同夹持 方式下的镜面热变形和镜体最大应力 ,并对两种夹持方式下的应力破坏进行了分析。发现夹持方式对大功率 激光器腔镜镜面变形影响很大 ,镜体边界沿径向固定的压圈法效果优于沿轴向固定的弹性压板法。 　　关键词 : 　高功率激光器 ; 　腔镜 ; 　热变形 ; 　夹持方式 　　中图分类号 : 　TN248 　　　　文献标识码 : 　A 　　对于功率大于 10 kW 的高功率激光器 ,腔镜的热变形对激光光束质量的影响不可忽视[1 ,2 ] 。镜面热变形 主要由三部分组成 :材料受热沿轴向的线膨胀、温度变化产生热应力引起的形变和因镜体周边受限不能自由膨 胀而产生的挠曲变形[3 ] 。因此 ,当腔镜尺寸和结构确定以后 ,镜体的夹持方式就成为关键问题[4 ,5 ] 。本文针对 这一问题 ,利用有限元方法分析各种常用的夹持方式对镜面热变形的影响 ,尝试提出合理有效的腔镜定位和夹 紧方法以指导夹具的设计。 1 　圆形腔镜的夹持 　　设计腔镜的夹持方式时 ,除一般地考虑到结构的强固性、精确度、工艺性和经济型等基本要求以外 ,还应注 意以下几点[6 ] : ( 1) 尽量使光学零件上只受到较小而均匀的压力。如果光学零件上所受压力或局部压力过大 , ( ) 会使光学零件的内应力增加 ,像差增大 ,情况严重时会使光学零件产生裂缝或局部破碎。 2 消除温度变化产 生的附加压力对光学零件的影响。由于光学零件与机械零件材料的线膨胀系数不同 ,当温度变化后零件可能 产生间隙 ,影响位置精度 ;也可能产生过膨胀 ,使光学零件上承受“温度附加压力”,影响光学系统的成像质量。 (3) 保证光学零件工作面不受损伤。应尽可能选用光学零件的非工作面为固定受压面 ,与光学零件相接触的 ( ) 机械零件表面 ,必须平整 ,其粗糙度不大于 6. 5 。 4 尽可能不用软木、纸片等有机材料与光学零件相接触 , 以 ( ) 防止光学零件生霉。5 应便于装配和调整 ,并保证装修前后光学零件彻底清洗的可能性。 　　圆形腔镜按工艺方法可分为机械固定和胶接固定。机械固定方法有压圈法、压板法和特殊固定法。胶接 法通常采用环氧树脂胶、703 胶和甲醇胶等。一般胶接法多用于多层复合镜并与机械法搭配使用 ,胶接对镜面 变形的不利因素在于 ,粘胶冷缩后易收缩而使粘接的镜体工作面变为凸面。另外 , 由于镜体自重的影响,水平 夹持与竖直夹持对热变形也有细微差别。 2 　不同腔镜夹持方式下的有限元变形计算 　　夹具与腔镜之间的相互作用与材料的刚性有关 ,材料密度和弹性模量之比越小 ,则刚性越大 ,变形就越 小[7 ] 。腔镜基底材料一般为金属、半导体或者金属氧化物。目前常用的有紫铜、钼、单晶硅和熔石英等。文献 [7 ] 中列出了这几种物质的密度/ 弹性模量比值。可知单晶硅的刚性最大 ,具有较高的抗压能力。另外 ,硅还具 有低的膨胀系数和较高的导热率 ,因此硅非常适合做为腔镜基底材料。本文中的模拟计算都是以硅镜为对象 的。 　　在实际应用中 ,圆形腔镜大多采用机械式夹持 ,它对热变