退火对FeMn 钉扎自旋阀性质的影响.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ;! % $$ % ， ， ， N1O *;! @1 * % 7H,H3/ $$ （ ） !$$$K#=$G $$G ;! $% G !%FK$; 7AE7 IL9MA7 9M@MA7 !$$ AJ-) * JP3 * 914 * 退火对!#$ 钉扎自旋阀性质的影响! !） ） ） ） #） ） 柴春林 滕 蛟 于广华 朱逢吾 赖武彦 肖纪美 !）（中国科学院半导体研究所半导体科学实验室，北京 !$$$%# ） ）（北京科技大学材料物理系，北京 !$$$%# ） # ）（中国科学院物理研究所，北京 !$$$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$! !! % $$ 通过对退火后 钉扎自旋阀磁性的研究表明，真空退火对自旋阀的性质有影响 低于 的退火能有效 ’() * $$+ 的提高钉扎场；退火温度高于 时，自旋阀的钉扎场要下降，其他性能也恶化；在 时，钉扎场降为零， $$+ #$$+ ,-.)/ 0.,)’/12’3-3/.)4’（ ）现象消失 俄歇电子能谱仪（ ）的结果表明，在自旋阀多层膜中存在着晶界扩散 5(6 * 789 * 关键词：真空退火，自旋阀，晶界扩散 ： ， %’’ :;:$ =!$ 扩散，在相同的条件下制备了基片G E.G @-’G ’()G 结构的多层膜 在经相同条件的退火后，利用俄 !? 引 言 E. * 歇电子能谱仪（ ）研究了 层之间的互 789 @-’G ’() 自旋阀结构多层膜具有频率特性好、工作磁场 扩散，并利用 -3J’2 模型分析了@-’G ’() 层之间 小、灵敏度高和信噪比高等优点而率先进入实用化 的互扩散* 阶段，得到了广泛的研究 目前，用作自旋阀钉扎层 * 的材 料 有 很 多种，如 ， ， ，