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铜- 压电陶瓷复合型驱动器的制备及特性
( 自然 科学 版)
32 4 Journal of South China University of Technology Vol. 32 No.4
2004 4 ( Natural Science E ition) April 2004
文章编号: 1000- 565X( 2004) 04- 0011- 04
铜- 压电陶瓷复合型驱动器的制备及特性*
沈 星 袁慎芳 王鑫伟 陈 勇
( , 210016)
摘 要: 将开有空腔的黄铜片与压电陶瓷通过导电胶粘合并固化获得了 种具有大位移
量和 定负载能力的铜- 压电陶瓷复合型驱动器, 实验得到的压电常数 超过2 000 pC/N.
33
本文系统分析了该驱动器的压电性能和位移特性; 讨论了驱动器几何尺寸对驱动性能的
影响. 结果表明: 位于金属顶盖和压电陶瓷之间的空腔可以将压电陶瓷片的径向位移转换
成整个结构的轴向位移并将之放大; 随着铜片厚度的降低, 驱动器的谐振频率明显下降,
轴向位移则明显增加.
关键词: 驱动器; 压电陶瓷; 几何尺寸; 驱动性能
中图分类号: TN 384 文献 识码: A
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, , Moonie . ,
, . :
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[ 1,2]
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33
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.
1 复合型驱动器的基本原理
1 ,
, 1
Fig. 1 Section structure of actuator
收稿日期: 2003- 09- 02
* 基金项目: ( ; 2 实验方法
( BK2001213)
作者简介: ( 1975- ) , , , , 2. 1 工艺制备
. E-mail: shenx@ nuaa. e u. cn , 22 mm
12 ( 自然 科学 版) 32
0. 5~ 3. 0 mm ( H62) . ,
, 6 mm, , 0. 5m. 3
300 m. PZT - 5 ,
( Pb( Zr Ti ) O ) , : 3 kV/ mm, 1400 V.
0.52 0.48 3
120 , 35
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