一种检测薄膜晶体管液晶屏的自动对焦方法 - 激光与红外.PDF

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 光电技术与系统 文章编号 一种检测薄膜晶体管液晶屏的自动对焦方法 姜 钧程良伦黄 帅 广东工业大学控制科学与工程系广东 广州 摘要针对大尺寸第五代到第八代 生产检测过程中要求成像系统成像速度快 精度高的情况研究快速的显微镜自动对焦方法 提出一种间接清晰度评价函数和一种用于 玻璃板检测的显微镜自动对焦的方法 采用一个激光器和一个黑白 相机作 为辅助手段通过寻找 相机最大的通光率的值确定相机对焦最好的目标点在此 基础上 通过求取 相机获得图片中的激光光斑质心并查表确定镜头调节的方向和距离 实验结果表明 对于放大倍率为 倍至 倍的物镜 当玻璃板在焦平面上下正负 范围 内进行自动对焦时 对焦时间在 以内 重复对焦精度可达到景深的 倍以内 关键词 成像系统 自动对焦 通光率 光斑质心 对焦时间 中图分类号 文献标识码 引言 自动对焦技术有主动和被动两种方式 国 玻璃板是一层很薄的带有金属丝电 内现有的显微镜自动对焦方式一般采用被动方式 路的玻璃 生产过程中会出现金属丝短路 断路 破 其主要方法是构造一个清晰度评价函数通过对物 裂玻璃沾有灰尘留有划痕等缺陷因此需要做出 体在显微镜下图像的分析得到当前的清晰度 然后 厂前检测的工作 大尺寸 第五代后的 与图片最清晰时的清晰度比较从而控制机构移动