浅析电子显微分析-3.pptVIP

扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的发展 利用电子束与样品的相互作用来获得样品表面高分辨率的图像这种想法在20年代末产生。1929年斯蒂青(H．Stintzing) 从理论上描述了扫描电子显微镜的工作原理。 1935年克诺尔(Knoll)用实验演示了这一设想。1938年，冯·阿登(von Ardenne)把扫描线圈装入透射电子显微镜中，试制出第一台扫描透射电子显微镜并对该仪器的理论基础和实际方面进行了较详细的描述。他在23kV，8000倍的操作条件下，拍摄到ZnO晶体薄膜的第一张扫描透射电子显微镜照片，其分辨率约在50一100nm。 1942年，茨瓦(Zworykin)等人首先描述了用于观察厚样品的扫描电子显微镜。他们认识到二次电子发射也许会产生形貌衬度，因此设计出相应的仪器结构。在该结构中，检测器上接相对于样品的50V正偏压，被收集到检测器上的二次电子通过一个电阻产生电压降。这一电压降被送至电视装置产生图像。其图像的分辨率只有1微米， 比光学显微镜(200nm)还差。为了提高图像分辨率，Zworykin等人从减小束斑尺寸、改善讯噪比等方面进行理论和实际二方面的探索，为现代扫描电子显微镜的诞生作出了重要的贡献。他们详细地分析了透镜像差、电子枪亮度和束斑尺寸之间的关系，从而探知获得最小束斑尺寸的方法；他们尝试用场发射冷阴极源代替钨灯丝热发射阴极源，虽然没能解决它的不稳定性，但获得了高