浅析真空镀膜研究性课题1.pptVIP

真空镀膜研究性课题（参考） 在物教做 定量研究薄膜厚度与镀膜条件的关系 尝试合金的制备与表征 尝试金属多层膜的制备与表征 研究使金属薄膜与基底结合牢固的方法 制备用于卢瑟福散射实验的金属薄膜 尝试在FTO衬底上热蒸发镀Ti，然后再阳极氧化制备TiO2纳米管阵列 定量研究薄膜厚度与镀膜条件的关系 真空镀膜制备的薄膜厚度与镀膜的功率、材料、衬底温度以及镀膜时间等条件有关。 我们采取改变其中一个条件，让其它条件不变的方法来研究他们与薄膜厚度的定量关系。 主要是改变材料（Al、Cu、Ni、Ag等）、镀膜功率（通过调节施加在蒸发舟上的电压和电流）、镀膜时间。 可以选择多个小组进行不同材料的研究。 尝试合金的制备与表征 让两种金属材料同时蒸发，之后再进行退火就有可能形成合金。 改变两种金属材料的蒸发速率可以在一定范围内调节合金中两种材料的比例。 选择具有一定功能的合金（2种组分）。 用XRD来表征是否形成合金。如果是合金会出现合金峰，如果不是合金则会出现单独的峰。 尝试金属多层膜的制备与表征 让两种金属材料交替在衬底上沉积会形成多层金属薄膜。 具体制备时可以让两个蒸发源同时蒸发，然后通过挡板来控制让哪个源蒸到衬底上，以及蒸镀时间。 选着具有一定功能的多层金属薄膜（2种材料），比如Ni/Cu，具有巨磁阻效应。 也可以用XRD或者XPS来表征是否形成了多层膜，也可以测量性质来表征。 研究使金属薄