电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用.pdfVIP

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2017-07-22 发布于北京
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电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用.pdf

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观察与思考 0bsen7atiOnPonder 制造产能规划中的应用任建华，钱省三，许圣良 (上海理工大学工业工程研究所／微电子发展研究中心，上海2000931 摘要：半导体晶圆厂的设备非常昂贵，对设备利用率的要求较高，设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的。本文提出了产能规划的三大模块，在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(spreadsheet)，在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析，总结出一些改进方法。通过在某半导体晶圆厂的实际应用，该产能规划模型有效地解决了投料不均，设备负荷率波动过大等问题。关键词：产能规划：半导体；晶圆制造；电子表格模型中图分类号：TN4 文献标识码：A 文章编号：1003．353X(2006)07．0485．04 of inthe Application of Spreadsheet Capacity Planning SemiconductorWafer Fabrication Ren。Jianhua， Qian—Xingsan， Xu—Shengliang oj sciencednd @niversnyShnngh8i知r inst{tuteIndHstrtal Technotogy，Resenrch of Engtneering／ MicroeiectronicsDeVe ResenrchCenter zoping ShⅡnghni2000931 Abstract：The of semiconductor are equipments is to manufacturingveryexpensive．Itnecessary a and useful for designsimple dueto for approachcapacityplanningrequirementhi曲equipment utilization．This fbrwardthreeModulesconcerned paperput ofcapacityplanning．Acapacityplan． modelfor semiconductorwafer