LIGA技术题库.pptVIP

DEM技术 DEM 技术是由上海交通大学和北京大学开发出的具有自主知识产权的准LIGA 技术.DEM是该技术三个主要工艺的英文缩写(DEM：deep-etching，electro-forming，micoreplication）。该技术用感应耦合等离子体（ICP:inductively coupled plasma）深层刻蚀工艺来代替同步辐射X光深层光刻， 然后进行后续的微电铸和微复制工艺。该技术不需昂贵的同步辐射X光源和特制的X光掩模版。 工艺过程主要为首先在氧化过的低阻硅片上溅射一层金属膜,利用紫外光刻和刻蚀工艺获得掩模,然后利用ICP 刻蚀机对硅进行深层刻蚀, 再通过氧化和反应离子刻蚀对硅的侧壁进行绝缘保护.利用深层微电铸工艺进行金属镍电铸后, 再用氢氧化钾将硅片腐蚀掉, 获得由金属镍组成的微复制模具. 利用该模具可对塑料进行模压加工, 进行塑料产品的批量生产, 或对模压后获得的塑料微结构再进行第二次微电铸,就可进行金属产品的批量生产. 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量，