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2017-07-21 发布于浙江
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长光栅传感器动态误差检测系统设计.pdf

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长光栅传感器动态误差检测系统设计

42 3 Vol． 42 No． 3 第卷第期北京工业大学学报 2016 3 JOUＲNAL OF BEIJING UNIVEＲSITY OF TECHNOLOGY Mar． 2016 年月长光栅传感器动态误差检测系统设计 1 1 1 2 石照耀，，笑一，建刚尚岳王刘 (1. ，京 100124 ; 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心北 2. ， 550018) 贵阳新豪光电有限公司贵阳 : ，．摘要长光栅传感器的静态精度的检测方法较为成熟而其动态精度的检测尚没有一个有效的解决办法针对，．、、此问题研制了一种以高精度光栅尺为基准的长光栅动态误差检测系统仪器主要由机械系统测控系统软件系，．，统组成通过在有效行程上与高精度光栅对比获得被测光栅的误差曲线仪器采用直线电机驱动保证了检测速度，． FPGA ，的要求同时提高了长光栅传感器的检测效率设计基于的双路光栅信号高速采集卡对光栅信号检测解决． : ，了测量中同步触发问题及高速触发采样数据的处理问题结果表明本系统能够实现对光栅的动态精度的检测检，．测效率高适用于生产现场的大批量快速测量 : ; ; 关键词光栅动态误差测量仪器中图分类号:TH 711 文献标志码:A 文章编号:0254 － 0037 (2016)03 － 0321 － 08 doi : 10． 11936 /bjutxb2015040010 Design of the Dynamic Error Measurement System for Linear-encoders 1 1 1 2 SHI Z