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我国电子化学品的现状与发展前景_吴坚
13 2 3 Vo.l13, No.23
2005 12 6 FineandSpecialtyChemicals ·1 ·
我国电子化学品的
现状与发展前景
＊
吴 坚 张 诚
(无锡市化工研究设计院有限公司, 江苏 无锡 21403 1)
:、FPD、、、
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。
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StatusandTrendsofElectronicChemicalsinChina
WUJian, ZHANGCheng
(WuxiChemicalIndustryResearchDesignInstituteCo., Ltd., Wuxi2 140 31, China)
Abstrac:tTheproductionandapplicationofphotoresis,tspecialtychemicalsforflatpaneldisplay, printedcircuit
boardmateria,lhigh-purityreagen,tspecialtygasandpackagingmaterialinChinaweresummarized.Atpresen,t1000 e-
lectronicchemicalscanbeproducedinChinaincommercialscaleorinbatches.Electronicchemicalindustrydeveloped
lopsidedlyinrecentyear,sshortageinsupplyisthemaincharacterinthecurrentmarke.tItisforecastedthatin20 10 the
marketsizeofelectronicchemicalsinChinawouldbeoverRMB20 billionandwouldbecomeapotentialgreatmarketofthe
world selectronicchemical.s
Keywords:polymiide;high-puritymetallorganiccompound; liquidcrysta;lwetchemicals
20 90 , 。
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1.1
20%, ,
20%。 2010 , ( g、 i、248 nm)
200 ,、 。,
＊收稿日期:2005-10-31
作者简介:(1959-), , ,
。。
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:g (436 nm)※ i (365 nm)※248 nm※ ,
19 3 nm※EUV(157 nm),
。 ,
, 248 nm 。 2。
, 0.25μm, 256 M
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