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非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器
第 23 卷 第 6 期 红 外 技 术 Vol. 23 No. 6
2001 年 11 月 Infrared Technology Nov. 2001
〈材料与器件〉
非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器
唐 军 ,程建功 ,褚君浩
( 中国科学院红外物理国家实验室中国科学院上海技术物理研究所 ,上海 200083)
( )
摘要 : 采用半导体微机械 MicroElectroMechanical System , MEMS 技术制备了具有热隔离微桥的 8 ×8
元非致冷 Ba Sr TiO 薄膜红外探测器列阵原型器件。热释电性能优良的 Ba Sr TiO 薄膜是使用浓
0. 8 0. 2 3 0. 8 0. 2 3
度为 0. 05 M 的前躯体溶液、采用 SolGel 制备的。在 5～30 ℃的温度范围内 ,Ba Sr TiO 薄膜的热释
0. 8 0. 2 3
2 2
电系数大于20 nCcm K,在 16. 8 ℃处达到最大值41. 3 nCcm K 。在 19 ℃的环境温度下 ,使用 500 K 黑体
7 12 - 1
作为红外辐射源 ,测得 10 Hz 调制频率下 ,探测单元的探测率 D 为 5. 9 ×10 cmHz W 。对器件结构
的进一步改进和测试条件的进一步改善可望获得更高的探测率。
关键词 : Ba x Sr1 - x TiO3 ; 铁电薄膜 ; 热释电性能 ; 红外探测器列阵
( )
中图分类号:TN215 文献标识码 :A 文章编号 2001
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铁电材料主要有 BST 、PbZrx Ti1 - x O3 PZT 和 PbSc12 Ta12
1 引言
( )
O3 PST 三种。美国 Corning Applied Technologies 的V.
铁电材料不仅在研制存储器和微驱动器等方面有 Fuflygin 和他的合作者最近报道 ,采用 SolGel 法制备
重要意义 ,而且由于其优良的热释电性能 ,可
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