高性能氮化铝陶瓷基片生产关键技术研究.pdfVIP

第7卷第12期 电电 子子 与与 封封 装装 第第77 卷卷，，第第1122 期期 总总 第第5566 期期 VVooll..77 ，，NN oo ..1122 EELLEECCTTRROONNIICCSS PPAACCKKAAGGIINNGG 年年1122 月月 封 装 、 组 装 与 测 试 高性能氮化铝陶瓷基片生产关键技术研究 刘 健，刘志平 （中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 0 50 0 5 1 ） 摘　要：文章主要介绍氮化铝陶瓷基片生产的关键技术。重点研究了原材料控制、氮化铝基片配方、 成型工艺、烧结技术、磨抛技术等五个方面的因素对氮化铝陶瓷基片生产的影响以及解决措施。通过研 究发现添加3%左右的Y O 作为烧结助剂，同时采用低温段缓慢升温的方法可以极大地提高氮化铝陶瓷 2 3 基片的烧成质量。我们的研究，优化了生产工艺，提高了氮化铝陶瓷基片的质量和生产的成品率。 关键词：氮化铝陶瓷基片；生产；关键技术 中图分类号：TN305 .94　　　文献标识码：A　　　文章编号：1681- 1070 （2007 ）12-000 1-03 Research of the High Performance AlN Ceramic Substrate Production Key Technology LIU Jian, LIU Zhi-ping （The 13th Research Institute of CE TC, Shij iazhuang 05005 1, China ） Abstract ：The technology of AlN ceramic substrate volume production is introduced in this pap er. The influence factors of AlN ceramic substrate volume production and the solutions are studied with emphasis .After researching and experiments, the production craft is optimized. The quality and the end-product-rate of volume production are enhanced. Key words: AlN ceramic substrate; production ; key technology [2] 的市场需求 也在不断增长。 1 引言 氮化铝陶瓷作为一种新型的高导热率非氧化物陶 瓷材料，目前国内还没有可供借鉴的成熟工艺和工艺设 氮化铝陶瓷是近几年发展起来的一种新型陶瓷材 备，国外对氮化铝制备技术报道很少，我们只有通过不 料，由于其导热率高和绝缘性能好而使其在许多领域有 断地摸索，来探索高质量氮化铝基板的规模化制备工艺 着广泛的应用，其优良的热性能、机械性能使其在高功