四模态匹配三轴硅微陀螺仪.pdfVIP

第 2l卷 第 9期 光学 精密工程 VoI．21 NO．9 2013年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sep．2013 文章编号 1004—924X(2013)09—2326—07 四模态匹配三轴硅微陀螺仪 夏敦柱 ，孔 伦，虞 成 (东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，江苏南京210096) 摘要 ：为 了实现单片集成六 自由度微惯性测量单元 ，提 出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成 的四方 全对称结构的三轴陀螺仪 。介绍了该惯性测量元件 的结构及T作原理 ，根据结构参数计算出了详细的性能指标 ，并进行 了面 内驱动模态和面内外的敏感模态仿真 。为提高各敏感模态 的机械灵敏度 ，提 出采用双重静电频率调谐方案 ，即先对 公共质量块施加凋谐 电压 ，使驱动模态和航 向模态 的频差最小