应用光纤光栅於高速内藏式主轴及工具机的动态特性、温升以及变形之.PDF

應用光纖光柵於高速內藏式主軸及工具機的動態特性、溫升以及變形之精密量 測 龔瑞清 許詠荏 馬劍清 國立臺灣大學機械工程系 國立臺灣大學機械工程系 國立臺灣大學機械工程系 ntu.edu.tw ntu.edu.tw ccma@ntu.edu.tw 摘要 布拉格光纖光柵 （Fiber Bragg Grating, FBG ）具有徑細質輕、高靈敏度以及不受電磁波干擾等 優勢 ，若搭配能量調變法可進行動態訊號量測、搭配分波多工器可進行多點量測，亦可搭配波長調解 器與共振波長飄移理論做定量之量測 ，應用範圍極為廣泛 。本研究主要利用光纖光柵量測高速內藏式 主軸與高精度磨床與銑床之訊號，首先使用光纖光柵感測系統針對運轉中的高速內藏式主軸進行量測， 提出同時將裸光纖與套管光纖黏貼在主軸表面，透過共振波長飄移理論計算將溫度及熱變形訊號解耦 合，直接獲得高速主軸在運轉過程中的溫升及熱變形歷程，再由頻域分析量測主軸轉速以監測長時間 主軸之作動情況 ，並將光纖光柵埋入主軸內部 ，針對主軸之內外部進行量測 。進一步以超光二極體 (Super luminescent diode, SLD)當寬頻光源客制化設計出一價格低廉、體積小之光路及量測系統 ， 以達到將光纖光柵感測器埋於主軸內部並長期監測主軸內部溫升及熱變形之目的。本文亦針對實際磨 削中之高精度磨床與銑床進行量測，同時以套管光纖、裸光纖以及熱電偶量測磨削及銑削時主軸及加 工工件之振動 、溫升及熱變形 ，以達到監測及定量量測工具機運轉時的加工歷程 ，將可大幅提升加工 製程上的精度要求 ，此外也針對工具機在銑削時產生的顫振現象作深入的分析探討。 關鍵字：布拉格光纖光柵、高速內藏式主軸、工具機、動態特性、溫升、熱變形 、超光二極體光源 壹、前言 一、背景簡介 在機械工程或是土木結構的研究及應用領域中，應用於量測應變的感測器多是以應變 規為主，因其具有定量量測的能力，且價格低廉、易於架設與使用，然而應變規為電阻式應 變感測器，使用上易受到週遭環境(如潮濕及電場)的干擾。近年來應用光纖於感測器之應用 發展迅速，光纖具有細小的線狀幾何外型、可撓性，因此可安裝於狹小的空間 ，或是埋入結 構物中進行長期監測，除此之外，光纖訊號不受電磁波干擾、抗腐蝕性、防水，因此逐漸取 代電子感測器。而FBG 的相關研究以及開發使得光纖感測器可應用於更多不同的量測領域， 包括結構物位移或應變之量測、工具機狀態監測、管線或軌道監測、腐蝕探測等問題，使得 光纖感測器的開發與應用成為現今工程領域的主流之一。 Kersey 等人[1]在 1993 年時，利用布拉格光纖光柵結合法布里-珀羅(Fabry-Perot)濾 波器開發同時多點量測的能力。在 1995 年，Yoffe 等人[2]利用矽管和鋁管間不相同的熱膨 脹係數 ，成功達到使光纖光柵共振波長固定而不隨溫度改變而變化的效果，稱為溫度補償 (temperature compensation)技術。通常在應用時利用不同熱膨脹係數的材料配合特殊封 裝結構，由整體的熱膨脹效應產生之應變來補償因溫度變化造成的波長飄移。2008 年 Sun 等人[3]則提出同一條光纖上寫製多段不同共振波長的光柵之方法，並可應用於多點之溫度 監控。布拉格光纖光柵於各個領域中的實際應用還包括 Murukeshan 等人[4]在 2000 年時 將布拉格光纖光柵埋入複合樑結構中並對其進行監測 、Biswas 等人[5]於 2010 年時將布拉 格光纖光柵埋進混凝土中，用來量測混凝土內部之應變變化，並探討封裝過程對其產生的應 力以對其造成的影響。此外，光纖光柵的高靈敏度特性，適合用來量測振動微小的精密工具 機，加上體積狹小，易黏貼於機台與工件上，因此極為適合量測各種工具機相關議題 。 本篇論文主要目的即是應用本實驗室開發之光纖光柵