电化学腐蚀多孔硅的发光特性X - 河北师范大学学报.PDF

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电化学腐蚀多孔硅的发光特性X - 河北师范大学学报

32 / 6 / 河北师范大学学报/ / Vol. 32 No. 6 2008 11 JOURNALOF HEBEINORMALUNIVERSITY/ Natural Science Edition/ Nov. 2008 电化学腐蚀多孔硅的发光特性X 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 甄聪棉 , 张金娟 , 刘彩霞 , 张永进 ( 1. , 050016; 2. , 050016) : . SEM, FTIR, PL . , , 378, 470, 7 14 nm , . :; ; ; + :O 472 3 :A : 10002 5854(2008) 062 0741204 1990 C nh m[1] (P S) , , , . PS , / 0 / 0 , [2~ 4] . [5, 6] , . [ 7] . PS Be le , , P S , PS , p P S . , [ 8] [9] [ 10] , : / . , [ 11] , . , - , 2 , ns , , PL . Koch[ 12] , PS , , [13] . , P S , H, F , O, C , , , # $ , , [10] , . Qin , PS - , , , . 2 : 1. , SiO . , , Si H 2 . 2. SiO2 . , SiO ( SiO / Si SiO ) . - 2 2 2 , . , p , SEM, FTIR, PL, . X :2008- 05- 15 :( ; ( E2007000280) ; ( 2006123) :( 1973- ) , , ,, , . # 742 # 1 , 1 . p (2~ 5 8# cm) , v (HF)Bv (C H OH)= 1B1 2 5 . , Al , HF , , . , 60 min. S- 570 . Nicolet 380 . (PL) RF- 5301 , Xe , 1 P S 250nm. . 2 2 2 10, 30 mA/ cm P S SEM . , . [14] . Smith , , , . , , . , . PS , , , 2 . b , . , , - -