脆性材料流道孔之双面喷蚀及其护罩设计之研究.PDF

脆性材料流道孔之雙面噴蝕 及其護罩設計之研究 * ** 廖運炫 陳立春 * 國立臺灣大 學機械研究所教授 ** 黎明技學 院機械系講師 摘 要 在噴砂製程中 ，樹脂與金屬均可作為護罩 (mask)材料以抵擋噴砂流束的噴蝕。拜 感光性樹脂之賜 ，護罩能在雙面對準曝光機 、曝光 、顯影下 ，於晶片待加工位置 形成對位準確的護罩開口 (maskopening)，以抵擋噴砂流束的噴蝕 。使有量產優 勢的噴砂製程能接續感測計等微机電晶片製作之上游製程，在晶片正確位置 大量 噴蝕各种 流道孔。惟護罩可抵擋來自正面噴砂流束的噴蝕 ，但無法抵擋來自背面 之回砂流束 因， 而在護罩開口邊緣發生 過蝕(underetching)現象 ，使實際噴蝕出 來流道孔尺寸大於護罩開口尺寸 (maskopeningsize)。本文將推導護罩