含氟聚酰亚胺和其在微电子工业中的研究进展_II含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用.pdf

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∀ 10 ∀ 20038 综 述 1 1 2 2 2 1 1* 刘金刚 , 何民辉 , 王丽芳 , 杨海霞, 李彦峰 , 范 琳 , 杨士勇 ( 1中国科学院化学研究所, 工程塑料国家重点实验室,分子科学中心, 北京 100080 2兰州大学,兰州大学化学化工学院,兰州 730000) : (PI) 305 , : ; ; ; ,, (SSIMSI) (LSI) (ULSI) , (GLSI) 2001 20000 , ,, ! , [ 1] 20% , !, , ! , , [2] , (PI) ,PI , [3] PI : ;(SKLEP0061) ; :( 1973- ) , 1999 ,2002 ; * 4 ∀ 11 ∀ (IC) , ,IC 400# , [4] (CTE) PI , , ,, , , PI 1998 SEM TECH(Semiconductor Manufacturing and Technology,, [5] ) , 2002 , 20~ 25 , PI 30~ 35,;, , , ( ) , PI 500nm , 440nm 100%, PI PI , [6] PI , , ( )PI ,, PI , PI , PI [7~ 9] , ,PI PI PI , (Wave- guide) (NLO) ( Photorefractive) ( Photosensitive) (ElectroOptic) ; ; PI 1 含氟PI 在光波导材料中的应用 , , (OIC) (OEIC) (LiNbO ) , 3 ,:( 1) ;;; (2) , , , , [ 10] ∀ 12 ∀

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