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* * * 1、2-光电元件;3-指示光栅;4-莫尔条纹; A-光栅移动方向;B-莫尔条纹移动方向; U01-元件AB(1)对应的输出电压; U02-元件CD(2)对应的输出电压; u1 u2 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 整形放大 整形放大 u1 u2 u1 u2 * AB与CD两个狭缝在结构上相差π/2,所以它们在光电元件上取得的信号必是相差π/2。 AB为主信号,CD为门控信号。 当主光栅作正向运动时,CD产生的信号只允许AB产生的正脉冲通过,门电路在可逆计数器中作加法运算; 当主光栅作反方向移动时,则CD产生的负值信号只让AB产生的负脉冲通过,门电路在可逆计数器中作减法运算。 * U1和U2经过整形后得两个方波信号U1ˊ和U2ˊ 。 U1ˊ产生计数脉冲,U2ˊ的电平状态作为与门的控制信号, 来控制在不同的移动方向时, U1ˊ所产生的脉冲输出路线。这样就可以根据运动方向正确的给出加计数脉冲或减计数脉冲, 再将其输入可逆计数器, 实时显示出相对于某个参考点的位移量。 整形放大 u1 u2 u2 u1 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1f 正向移动时 u1 整形放大 u2 u2 整形放大 u1 u2 u2 u1 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1f u1 整形放大 u2 u2 正向移动时 u1 u2 u2 u1f u1 整形放大 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1 整形放大 u2 u2 反向移动时 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 整形放大 整形放大 u1 u2 u1 u2 * 当光栅沿A向移动时,莫尔条纹向B向移动。 U2超前U1 90°。U1ˊ经微分电路后产生的脉冲(如图中实线所示)正好发生在U2ˊ的“1”电平时, 从而经Y1输出一个加计数脉冲; 而U1ˊ经反相并微分后产生的脉冲(如图中虚线所示)则与U2ˊ的“0”电平相遇, 与门Y2被阻塞, 无脉冲输出。 当光栅沿A反方向移动时, 莫尔条纹向B反向移动。U1超前U290°。U1ˊ的微分脉冲发生在U2ˊ为“0”电平时, 与门Y1无脉冲输出; 而U1ˊ的反相微分脉冲则发生在U2ˊ的“1”电平时, 与门Y2输出一个减计数脉冲。 * 四、 莫尔条纹细分技术 目的:提高分辨力(测量更小的位移量)。 细分方法: 1.增加光栅刻线密度; 2.电子细分; 3.机械和光学细分。 * 电子细分:在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内, 发出n个脉冲, 每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍, 因此也称之为n倍频法。 通常采用的电子细分方法有:四倍频细分和电桥细分等。 * 1. 四倍频细分 方案:在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件,得到四个相差依次为π/2的电压信号;或在相差B/4位置上安放两个光电元件,得到两个相差π/2电压信号,将这两个信号整形、反相后得到四个依次相差π/2的电压信号。 在光栅作相对运动时,经过微分电路,在正向运动时,得到四个微分脉冲(加计数脉冲);反向运动时,得到四个微分脉冲(减计数脉冲)。 采用电路的手段对周期性的测量信号进行插值,以提高分辨率。 u1 L 用鉴频器鉴取四个信号的零电平, 当每个信号从负到正过零点时发一个计数脉冲 L * 相距B/4放置四个光电元件 * 五、 光栅传感器的光学系统 组成:光源、透镜、光栅、光敏元件 光源:白炽灯或其它发光元件; 透镜:把光线变成平行光束照射在光尺上; 光敏元件:输出电压信号; 形式:透射直读式、反射直读式、反射积分式等 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 (与移动部件固定) 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长光栅 1、光栅的外形及结构 扫描头(与移动部件固定) 光栅尺 可移动电缆 * 2、透射直读式 特点:光电元件采用四极硅光电池构成四细分直读式分光系统,输出的四路电信号相位依次相差π/2,相当于对莫尔条纹信号进行四细分。 透射式光栅 透射式圆光栅 固定 * 特点:标尺光栅为反射式光栅, 光源经透镜成平行光束并以一定角度射向指示光栅,莫尔条纹是由标尺光栅反射回来的光线与指示光栅相互作用而成。 (b)反射直读式 2、反射直读式 反射式光栅 * 特点:只用一个闪耀光栅作主光栅,没有指示光栅,利用光的衍射和干涉现象测量位移。 3、反射积分式 * 7.5 光栅传感器的应用 由于光栅传感器测量精度高、动态测量范围广、可进行无接触测量、易实现系统的自动化和数字化,因而在机械工业
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