纳米薄膜材料制备探究进展.docVIP

纳米薄膜材料制备探究进展 　摘　要：纳米薄膜材料是一种新型材料，由于其特殊的结构特点，使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展，包括对该类材料的分类和制备方法。文章最后对纳米薄膜材料的应用进行了展望。 思想汇报 /sixianghuibao/ 关键词：纳米薄膜 ；薄膜分类；薄膜制备 纳米材料由于其表面效应、体积效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应,从而使之具有各种奇异的力、电、光、磁、热效应以及化学活性。纳米材料是当今新材料领域中最富活力、对未来经济和社会发展有着十分重要影响的研究对象，也是纳米科技中最为活跃、最接近应用的组成部分。 　　人类有意识的开展纳米材料的研究开始于大约50年代，西德的Kanzig观察到了BaTiO3中的极性微区，尺寸在10—100纳米之间。苏联的G A Stoolemkv假设复合钙钛矿铁电体中的介电弥散是由于存在Kanzig微区导致成分布不均匀引起的。60年代日本的Ryogo Kubo，运用金属超微粒子理论，发现由于金属粒子的电子能级不连续，在低温下，即当费米能级附近的平均能级间隔δkT时，金属粒子显示出与块状物质不同的热性质。西德的H Gleiter对纳米固体的制备、结构和性能进行了细致地研究。80年代末，有人利用粒度为1~15nm的超微颗粒制造了纳米级固体材料。随着技术水平的不断提高和分析测试技术手段的不断进步，人类逐渐研制出了纳米碳管、纳米颗粒，纳米晶体，纳米薄膜等新材料，这些纳米材料有一般的晶体和非晶体材料不具备的优良特性。【1】 1纳米薄膜的分类 毕业论文 1.1按结构分类 　　纳米薄膜是指二维的纳米固体，纳米薄膜具有纳米结构的特殊性质，目前可以分为两类：(1)纳米粒子组成的薄膜；（2）纳米微粒间有较多的孔隙、无序原子或其他材料的薄膜，如纳米微粒镶嵌在另一种基体材料中的颗粒膜就属于此类。【2】 1.2按功能分类 　　纳米薄膜是一类具有广泛应用前景的新材料，接用途可以分为两大类．即纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。前者主要是利用纳米粒子所具有的光、电、磁方面的特性，通过复合使新材料具有基体所不具备的特殊功能。镶嵌有原子团的功能薄膜会在基质中呈现出调制掺杂效应，这类集成器件具有惊人的信息处理能力；纳米磁性多层膜具有典型的周期性调制结构，导致磁性材料的饱和磁化强度的减小或增强。对这些问题的系统研究具有重要的理论和应用意义。 2纳米薄膜的制备方法 　　纳米薄膜有多种制备方法，主要可分为物理方法和化学方法两大类。其中经常使用的物理方法包括粒子束溅射沉积、磁控溅射沉积，以及新近出现的低能团簇束沉积法；化学方法包括化学气相沉积(MOCVD)法、电沉积法、溶胶一凝胶法等。 2.1离子束溅射沉积 　　使用这种方法制备纳米薄膜是在多功能离子束辅助沉积装置上完成。它由离子源、离子引出极和沉积室三大部分组成，在高真空或超高真空中溅射镀膜法。利用直流或高频电场使惰性气体（通常为氩）发生电离，产生辉光放电等离子体，电离产生的正离子和电子高速轰击靶材，使靶材上的原子或分子溅射出来，然后沉积到基板上形成薄膜。在其离子源内由惰性气体产生的离子具有较高的能量（通常为几百~几千eV），可以通过一套电气系统来控制离子束的性能，从而改变离子轰击靶材料产生不同的溅射效应，使靶材料的沉积到基片上形成纳米材料。离子溅射工作原理图如图1所示。溅射法中的靶材无相变，化合物的成分不易发生变化又由于溅射沉积到基片上的粒子能量比蒸发沉积高出几十倍，所形成的纳米材料附着力大。 代写论文 2.2低能团簇束沉积法 　　低能团簇束沉积方法制备纳米薄膜时，先将所沉积材料激发成原子状态，然后以Ar、He作为载气使之形成团簇，同时采用电子束使团簇离子化，利用质谱仪进行分离，从而控制一定质量、一定能量的团簇沉积而形成薄膜。在这种条件下沉积的团簇在撞击表面时并不破碎，而是近乎随机分布；当团簇的平均尺寸足够大，其扩展能力受到限制，沉积薄膜的纳米结构对团簇尺寸具有很好的记忆特性。【4】 　　结论 　　我国已建立了多种物理和化学方法制备纳米材料，研制了气体蒸发、磁控溅射等多台制备纳米材料的装置；发展了化学共沉淀、溶胶、凝胶、微乳液水热、非水溶剂合成和超临界液相合成制备包括金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物、离子晶体和半导体等多种纳米材料的方法，做到纳米微粒的尺寸可控；研制成了性能优良的多种纳米薄膜和块材。近年来，建立和发展了制备纳米结构组装体系的多种方法，特别是自组装与分子自组装、模板合成、外延生长等也积累了丰富的经验，已成功地制备出多种准一维纳米材料和纳米组装体系。这些方法为进一步研究纳米结构和准一维纳米材料的物性，推进它们在纳米结构器件的应用奠定了良好的基础。可以预言，