等离子体技术在金属材料表面改性中应用.pdfVIP

·68 · 　　机械 　2003 年第 30 卷第 6 期 　　 工艺装配 等离子体技术在金属材料表面改性中的应用 朱元右 (南京工程学院 ,江苏 南京 ,2 11100) 摘要 :介绍了等离子体的有关概念及其在材料表面改性的基本原理 ,阐述了低温等离子体技术在金属材料表面改性中的应 用研究 ,探讨了该技术在金属材料表面改性中的应用前景及其存在的问题 。 关键词 :等离子体技术 ;金属材料 ;表面改性 中图分类号 :O46 1 　　　　文献标识码 :A 　　　　文章编号 :1006 - 03 16 (2003) 06 - 0068 - 05 Appl ication of plasma technology to surface modif ication of metal ZHU Yuanyou (Nanjing Institute of Technology , Nanjing 2 11100 , China) Abstract :The relate concept of plasma and t he basic principle of surface modification are introduced in t his p ap er . This article also indicates t he study on application of cold plasma technology to surface modification of metal , and discusses t he application prosp ect s and existing problems. Key words :plasma technology ;metal ;surface modification 　　工业技术的发展使得制造工业产品所需的材料 表面特性 ,是近年来研究的热点 。本文将对这一课 品种 日益繁多 ,为了适应高强度 、高硬度和耐磨 、耐 题进行系统的研究 ,探讨其在金属材料表面改性中 高温 、耐酸碱腐蚀等不同特殊要求 ,人们需要不断开 的应用前景 。 发多种特殊的合金材料 ,但这些合金材料往往价格 昂贵 。因此 ,人们试图采用各种表面技术对普通材 1 　离子体的基本概念 料表面进行加工 ,或形成涂覆层 ,或形成扩散层 , 以 改变其表面性能 ,使其适应复杂的工作环境 。另外 , 等离子体是由大量正负带电粒子和中性粒子组 磨损 、腐蚀等失效都是首先发生在材料表面 ,通过对 成的 ,并表现出集体行为的一种准中性非凝聚系统 。 材料表面进行有效处理 ,可以极大地提高材料寿命 。 它是物质存在的基本形态之一 ,是物质固、液 、气三 等离子体技术是 20 世纪 60 年代 以来 ,在物理 态以外的第四种物质状态 。其主要特征是 :粒子间 学 、化学 、电子学 、真空技术等学科交叉发展的基础 存在长程库仑相互作用 ,等离子体的运动与电磁场 上形成的一门新兴学科 。采用等离子体技术可使物 的运动紧密耦合 ,存在极其丰富的集体效应和集体 质通过吸收电能实现一系列传统化学所不能实现的 运动模式 。等离子体的分类方法很多 ,按温度可将 新的化学反应 。40 年来 ,等离子体技术在电子学 、化 等离子体划分为热力学平