MEMS质量流量计.PDF

MEMS质量流量计 MF4000系列 广州汉川仪器仪表有限公司 目录 产品特点2 产品简介2 产品应用2 工作原理3 测量原理 原理框图 性能指标4 部件描述4 外形尺寸5 产品选型5 安装使用5 引出线定义6 运行模式(Running Mode)6 瞬时流量显示模式(Instant flow rate mode) 累计流量模式(Flow accumlation mode) 峰值流量保持模式(Maximum / minimum mode) 菜单设置模式(Menu Setting Mode)7 键锁(Keyboard lock) 累积流量清零(Flow accumulation zeroing) 自动零点校正(Automatic offset calibration) 响应时间设置(Response time setting) 显示更新时间设置(Display refresh setting) 峰值流量清除(Maximum / minimum flow rate record clearing) 恢复系统默认值(System default retrieval) 瞬时流量小数点位置设置(Decimal setting) RS232通讯方式9 操作模式 用户模式 流量连续式 查询瞬时流量模式 安全及保修10 安全使用 产品保修 客户服务及订货10 汉川MEMS质量流量计 Page 1 MEMS质量流量计 MF4000系列 产品特点 Ÿ灵敏度高，有极小的始动流量； Ÿ传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补 偿，保证了流量计的高精度计量； Ÿ在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比 达到了100:1甚至更高； Ÿ各种连接方式，易于安装与使用； Ÿ输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或 由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出 线性的模拟电压； ŸLED显示瞬时流量和累积流量，允许现场用键盘配 置流量计参数； Ÿ可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值，具 有超量程指示功能； Ÿ零点稳定度高； Ÿ全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性； Ÿ低功耗、低压损； Ÿ响应速度快。 产品简介 MF4000系列气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系 列流量计均采用本公司 自主研发的 流量传感芯片来制作，适用于各类清 汉川仪器仪表(MEMS) 洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安 装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计并配以多种信号输出，通过通 讯接 口可实现对流量计的灵活配置与参数查询。MF4000具备LED数字显示和按键功能，允许用 户在现场调整或查询流量计的参数。 产品应用 Ÿ环境监测 Ÿ电缆充气机 Ÿ麻醉机 Ÿ呼吸机 Ÿ设备通风检测装置 Ÿ其他工业应用 汉川MEMS质量流量计 Page 2 工作原理 MF4000系列小流量气体质量流量计是基于汉川仪器仪表有限公司自主研制的MEMS流量 传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气 体的质量流量。 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成 稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布， 形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。 汉川公司流量计芯片上的传感器将 测量这一变化并把这一变化转换为电信号， 由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理 并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周