不锈钢管道内壁镀tin薄膜技术及其真空性能的研究 studies on coating technology of inner wall of stainless steel pipe with tin film and its vacuum characteristics.pdfVIP

第29卷第3期 核 技 术 Vr01．29．NO．3 2006年3月 NUCLEAR March2006 TECHNIQUES 不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其 真空性能的研究 张耀锋王勇尉伟王建平范乐蒋道满 (中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029) 摘要介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺，并分析了薄膜的相关参数， 测试了镀膜管道的真空性能。结果表明，该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜，且镀 膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率。 关键词TiN薄膜，直流溅射，放气率 17 中图分类号TN305．92，TG TiN材料是近年来人们研究的重点之一。由于 内径86mln，中间放入纯钛溅射靶，高纯N2和心 其附着力强、硬度大、耐磨、耐腐蚀性好、颜色美 通过质量流量控制仪在管道的一端通人管道内部， 观、熔点高等诸多优点而广泛应用于航海、航空、 两个载波片样品分别放在不锈钢管道一端和中间的 装饰品制造、微电子工业、机械工业、临床医学制 底部，以便实验后测量薄膜性质。钛靶通过陶瓷与 品行业、光学器件制造业等行业。除此之外，TiN 不锈钢管道绝缘，并加上直流电压，通过调整放电 还具有良好的真空特眭，能有效地阻止氢气的渗透， 电压、放电电流及真空压强，实现最优放电溅射过 具有很低的放气率，可用于超高真空室的内表面处 程。 理。特别是对于加速器的复杂真空系统，它是提高 烘烤完成后，整个实验装置的本底真空压强为 加速器运行的动态真空性能的最有效的处理方法之 Pa O 量比约为5：1。达到动态平衡后压强保持在10 直流溅射法镀TiN薄膜是在直流电压作用下， 数量级。实验过程中放电电压约为600V，放电电 oC左右。 通入由稀有气体和N：组成的混合气体，气体在强电 流为2．5A，不锈钢管道外表面温度在300 场下发生辉光放电，形成等离子体，其中稀有气体 辉光放电形成的等离子体气体如图2所示j 正离子在电场的作用下轰击阴极钛靶，钛原子被轰 整个辉光放电过程持续48h，完成了镀膜实验。 击出来，再与N2在高温条件下反应，沉积于基体形 1．2 镀膜管道真空性能测试 成TiN薄膜。 采用小孔流导法测试镀膜管道的放气率。实验 1实验 装置如图3所示：真空室由完全相同的上下两个真 1．1 镀膜实验 实验前，按照不锈钢材料的通用清洗方法对实 验管道进行严格的清洗处理：先在清洗剂中浸泡， 再在清洗剂中用超声波清洗30min左右，随后用自 来水漂洗，然后再用自来水进行超声波清洗，再用 纯净水漂洗、脱水烘干后组装系统。实验系统组装 之后，对整个系统在250。C条件下持续24h进行烘 烤除气。 图1实验装置示意图 Schematicof