La2O3的添加对P2O5-Al2O3-SiO2系微晶玻璃性能的影响.pdfVIP

第36卷第3期 玻璃与搪瓷 Vo1．36 No．3 2008年6月 CLASS ENAMEL Jun．2008 La2 o3的添加对P2 o5一Al2 O3一SiO2 系微晶玻璃性能的影响 汤小明，陈新政 (东华大学先进玻璃制造技术教育部工程研究中心，上海 200051) 摘要：以ZrO 为晶核剂，根据DSC图谱制定合理的热处理制度，制备了磷扩散源P20 一A1 0。一 SiO，系微晶玻璃。采用XRD分析观察了P20 一A1 0 一SiO 系微晶玻璃的析晶状况，热膨胀仪 测试了该微晶玻璃的膨胀系数，分析La 0 的含量对P20 一A1 0 一SiO 系微晶玻璃在高温下释 放P，0 速率的影响。结果表明：随着La 0，含量增加，P 0 一A1 0 一SiO 系微晶玻璃中晶体含 量增加，主晶相未发生改变，都为磷酸锆晶体；同时，该微晶玻璃的热膨胀系数相对降低，P 0 的 释放速率拍．随之增加。 关键词：微晶玻璃；P 0 一A1 O 一SiO 系统；磷扩散源；稀土掺杂 中图分类号：TQ171．73 3 文献标识码：A 文章编号：1000—2871(2008)03—0005—04 Influence of La2 03 Additive on the Property of P2 o5一Al2 03一SiO2 Glass—ceramics TANG Xiao—ruing，CHEN Xin—zheng (Engineering Research Center of Advanced Glass Manurecturing Techndogy， Donghua University，Ministry of Education，Shanghai 20005 1，China) Abstract：The P2 05一A12 03一SiO2 system glass—ceramics doped with ZrO2 as a nucleator was prepared by appropriate heat—treatment process according to DSC curve．The crystallization of glass— ceramics was observed by XRD ，heat expansion was tested and then influence of La2 03 additive on evaporation of P2 05 at high temperature was analyzed．The results indicated that with the increase of ka2 03 content，crystal proportion increased obviously without changing the major crystalline phase，and evaporation of P 0 from 出e glass—ceramics also increased while出e heat expansion decreased． Key words：glass—ceramics；P2 05一A12 03一SiO2 system；phosphorus diffusion source；rare earth doping 0 引言 在晶体管、微波晶体管、大规模集成电路等半导体装置的制造过程中，利用扩散在单晶硅表面进行掺杂 是一个很重要的步骤。其中，扩散源本身的性能与扩散性能的优劣有着十分密切的关系，而半导体的性质直 收稿日期：2007—11—29 · 6·