新传感器第6章 10.ppt

化 学 传 感 器;第一节 离子敏传感器;若源极和漏极之间施加电压的话，带电粒子将沿着该沟道流通，形成漏源极之间的沟道电流，又称作漏电流（ID）。;离子敏场效应管正是利用场效应管的上述特性而实现对离子浓度的测量的。;1、离子敏场效应管的结构;溶液与敏感膜和参比电极同时接触，充当了普通场效应管的栅金属极，构成了完整的场效应管结构，其源极、漏极的用法与一般的场效应管没有任何的区别。;2、离子的活度;式中，Kij为离子敏场效应管的选择系数。;V’GS = VGS –φi –φref ;在外加电压VGS 和VDS恒定、保持参考电极的电位φref不变条件下，ISFET的漏电流IDS的大小将随溶液的离子活度αi的变化而变化。;4） ;第二节 气敏传感器;1、传感原理;当SnO2表面吸附氧化性气体（如O2）时，吸附态的气体从晶粒表面俘获电子，增大了材料表面的电子势垒，使导带电子数目减少，材料导电率降低，电阻增加。;烧结型：气敏电阻悬挂于中央，底座树脂模压制成，六根引线为贵重金属，外罩为100目不锈钢丝网。;2、电阻式气敏传感器特性;湿度的影响;钯掺杂量多、活性高的气敏材料，电阻值随温度的变化也较快；钯掺杂量少、活性低的气敏材料，电阻值随温度的变化较缓慢。;二、MOSFET气敏传感器;当氢气吸附于Pd栅膜表面时，氢分子在栅膜表面迅速分解为氢原子，氢原子迅速向栅膜内扩散，其中一部分氢原子被吸附于Pd栅膜与氧化物(SiO2)界面，并在此界面形成氢原子层。MOSFET的阈值电压VT因此而变化。;阈电压变化值的测量电路中，R是传感器内部的加热器电阻值，Vs是加热的直流稳压电源，将栅极与漏极短接，使VG = VD，从而保证VD ? VG - VT，使晶体管工作于电流饱和区。外加恒流Id。在一定的温度下，置于氢气中的晶体管阈电压随氢气的浓度变化而发生变化，电路输出的变化值就反映了?VT。;灵敏度：阈值电压?VT与气体浓度的关系。;温度特性：阈值电压随温度的变化关系;响应特性：器件对气体浓度的动态变化的响应能力。;为了消除二氧化硅对氢的吸附，可以采用其它绝缘膜代替二氧化硅和金属接触。例如在SiO2绝缘层上沉积厚度约100?的Al2O3层，使金属栅与Si半导体衬底之间构成Pd-Al2O3-SiO2-Si结构。由于Al2O3层的阻挡作用，可以减少SiO2绝缘层的正离子迁移，从而改善阈值电压的慢漂移。使器件在氢气中有较好的稳定性，并且滞后现象不严重。 由于Pd-Al2O3-SiO2-Si结构在绝缘层上不存在氢的吸附点，提高了响应速度，在低温下对氢气也有较快的响应速度。不过，这种结构制备工艺复杂，器件的灵敏度也受到一定的影响。 图中，垂直线段表示在恒定氢气温度下，18小时周期内响应的最大值与最小值。器件漂移小于3mV/24小时。;第三节 湿敏传感器;;;;2、MgCr2O4-TiO2系陶瓷湿敏传感器;能通过加热清除表面污垢，提高使用寿命和保持特性的稳定。;3、水分子亲和型湿敏传感器特性;1、热敏电阻式湿度传感器;许广肃大藕陆钎陌专毗劣渺币重诱弊霜宗窄碱包座短伐者致已坠际睡桃作新传感器第6章 10新传感器第6章 10;传感器不用湿敏功能材料，因而不存在滞后误差。;2、红外线吸收式湿度传感器;原理：超声波在湿空气中的传播速度ch与湿度的关系为： ch = 20.067[T(1+0.3192e/p)]1/2(m/s) 式中： T — 大气温度( C)； e — 水蒸气分压(mmHg )， p — 大气静压(mmHg)。 设含湿空气与干燥空气中超声波传播速度差 ?c = ch-cd ? 20.067T1/2× 0.1596e/p(m/s) e ? 6.2669×?c/cd ; 离子敏感膜;习题与思考