smartwli-microscope 显微镜升级方案 - 便携式白光干涉仪.pdf

SmartWLI-Microscope显微镜升级方案 --非接触光学表面三维形貌技术 ※ 高精度 ※ 测速快 ※ 高稳定性 ※ 高性价比 只要满足下列条件，世界知名品牌的 传统光学显微镜都可以升级为高 精度 三维表面形貌测量设备： ·无限远、中间像光学系统； ·反射明场照明系统； ·CCD 摄像头接口； ·可更换物镜的镜筒。 白光干涉测量技术广泛应用于光 滑与粗糙表面的三维形貌表征。 垂直方向的测量精度可以达到纳 米级别。 传统二维光学显微镜可升级为三 维表面形貌测量装置，极大提升 应用效能。采用这种测量方式， 高精度三维数据通过显 微镜视 场收集，数据分析以显微镜及 SmartWLI软件为基础进行。 GBS 公司已经成功为蔡司、尼 康、莱卡、奥林巴斯等著名品 牌的传统光学显微镜完成升级 工作。 ※ 系统参数 测量头 测量原理 白光干涉 ，非接触光学式 Z 轴定位系统 压电效应调节系统 纵向测量范围 (um) 最大可达 400um 摄像头参数 1936×1216像素 New ! 光源 光学显微镜光源系统 纵向分辨率 （nm ） 小于 1nm 最大扫描速率 （μm/s ） 48 New ! 电脑和操作系统 电脑或者笔记本 ，windows7 Z 轴方向20um距离测量时间 小于 3s New ! 推荐工作温度 （℃ ） 18-22 干涉物镜 New ! 放大倍数 MAG 2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 数值孔径 NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70 工作距离WD (mm) 10.3 9.3