5MHz空气隙石英谐振器的研制.pdfVIP

年第 期 宇航计 测 技 术 总第 期 空气隙石英谐振器 的研制 ’ 徐 瑞 华 航 空航天部无线 电计量 测试研究所 文 摘 通 常的高精密石英谐 振 器采用 的是 电极膜直接被在 石英 晶体谐振片上 , 玻璃壳火 封 。 、 。 或冷压焊 封装结构 本文 介绍一 种 结构全新 的高精密石英谐振器 的设计 工艺和性能 它 的 电极 膜是被在靠近石英 晶体谐振片的上下二个 电容器上 , 电极膜 与谐振片形成空气 隙形状 , 所 以 称为 空气隙石 英谐振器或无 电极石英谐 振器 。 它 的外壳采用 了密封性能很好的 金属 化氢焊 和 电子束 焊 封接装技术 , 使产品提 高 值和 改进老化 。 尤 其是石 英 晶体谐振片采 用 了 切 型进 一 步 提 高 了 短期频 率稳定度 和加速 度灵敏度 。 主题 词 石英谐振 器 频率 稳 定性 、 老化 石英 晶体 压 电器件 一 、 引 言 为 了提 高高精密 石英谐振 器 的频率稳定度 , 多年 来 , 很 多研 究工作者作 了 大 量 的 工 。 、 、 、 作 例 如 , 提 高晶体 材料 纯度 改进 晶体表 面 加工技术 采用 高纯度金属 电极 无油 高温烧 。 烤排气 , 以及 寻找 新切 型等 等 , 对提 高稳定 度指标做 出了很大成 绩 了 年 , 法 国 的 , 教授 首 先发 表 了一种金 属膜 电极不 是直接被在石 英 晶体谐振 片上 的新型 高精 密 石 英 谐振器 的研 究报 告 。 这 种新 型 谐振 器 的结构 可 以避 免石 英谐振片和 金属膜之 间的应 力和 金 属 离子 向石 英谐振片 内的扩 散 , 也避 免 了被膜 给 晶体表