水银微流体惯性开关的制作与测试.pdfVIP

114 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2013年 第32卷 第5期 水银微流体惯性开关的制作与测试 徐 媛 ，杨 涛 ，蔺 怡 ，刘婷婷 ，陈光焱 ，王 超 (1．西南科技大学 信息工程学院。四川 绵阳621010； 2．中国工程物理研究院 电子工程研究所 ，四川 绵阳621900) 摘 要：针对传统微机械 “固一固”型触点开关存在触点磨损 、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等 缺点，设计制作了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中的流动来实现通断的微流体惯性开关。利用 阳极键合和DRIE技术制作了开关微通道 ，采用溅射沉积方式沉积了cr金属薄膜，分别通过离心转台和 加速度传感器测试了开关的准静态阈值和冲击阈值，实验测试结果分别为8．525，5．09g。实验结果表 明：冲击阈值较准静态阈值小。 关键词：惯性开关 ；微流体；微机械加工；准静态阈值 ；冲击阈值；测试 中图分类号：TP212；TH706 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)05--0114--04 Fabrication and testofmercurym icro—fluidicinertialswitcha XU Yuan ，YANG Tao ，LIN Yi，LIU Ting—ting ，CHEN Guang—yan ，WANG Chao。 (1．SchoolofInformationEngineering，SouthwestUniversityofScienceandTechnology， Mianyang621010，China；2．InstituteofElectronicEngineering，ChinaAcademyof EngineeringPhysics，Mianyang621900，China) Abstract：Tosolvedisadvantagessuchascontactwear，contactinstability，highon—resistancenadsignalbounceof thetraditionalmicro-mechanicalswitchbasedonsolid—solidcontact，amicro—fluidicinertialswitchisdeveloped， whichutilizesmovingmercurydropletinmicro-channelwithvaryingrectnagularCROSSsectiontoclosetheswitch． AnodicbondingandDRIEtechnologyareadoptedtofabricatemicro—channelandsputteringmethodisemployedto depositCrfilm andquasistaticthresholdna dimpactthreshold areobtmned whichrae8．525g and5．09g respectivelybyusing centrifugalturntableand accelerationsensor．Experimentalresultshowsthatquasistatic thresholdisgreaterthna impactthreshold． Keywords：inertialswitch；micro—fluidics；micromachining；quasistaticthreshold；impactthreshold；test 0 引 言 文献 [5]中提出了一种基于毛细管阀的微流体惯性开 惯性开关，也称为g值开关、阈值加速度计等 J，是在 关，分析了惯性开关的工作机理，推导出了加速度阈值的解 超过阈值加速度作用下执行开关动作的精密惯性器件 ，被