精密加工概念-明志科技大学.PDF

精密加工概念 郭啟全 明志科技大學機械工程系暨機電工程研究所 jacksonk@mail.mcut.edu.tw • 在尖端技術的領域中，做為關鍵性技術(key technology ）的超精密加工是必要的 • Aspherical lens Artificial heart 何謂加工? • 何謂加工? • 何謂精密? • 何謂精密加工? • 何謂超精密加工? 加工 • 材料製作成所需的元件尺寸形狀，如果有 要求的話，須將表面拋光。 • 超精密加工的代表性材料鋁而言，為0.4nm 何謂精密加工? • 所謂精密加工，就是使用標準的加工法可 以穩定地製作出加工精度上限的加工。 • 超精密加工就是超越上述的精度，可以達 到嚴格限制條件的精度。 • 隨著時代的進步，其值也隨之變化。 • 1750年代的工業革命時期，加工精度的上 限為1cm ，就當時而言即使是1mm程度的 精度也是超精密。利用這種超精密加工， 可以製造出蒸汽機。 • 光電（optoelectronic ）時代的現在則達到 0.01µm 。進而最近研究開發的目標則以 0.001µm ，也即1nm為目標。 Nano technologyIC • 製作1nm的精（密）度及細（密）度成品的 綜合技術奈米技術 • Critical dimension 45 nm 為何需要精密加工? • 對應製品的高性能化、高信賴性化（例如，高速旋轉規格 的增加，利用改善粗度來改善壽命及耐蝕性等）。 • 對應製品的小型化（改善尺寸精度）。 • 對應自動組立的普及。 • 利用元件精度提昇來簡化構造設計。 • 防止元件使用時振動、噪音。對應公害防制法。 • 為輕易地（有熟練、自動化）實現提昇製品總體組立的精 度而製造。 • 製造必要的高精度元件，以對應新製品開發之需要（錄影 機（video ）、雷射（laser ）、CD 、電腦周邊機器、新科 學計畫機器等）。 超精密加工的用途 • 超精密加工是以追求表面粗糙度、形狀精 度、尺寸精度。 • 超精密加工的最具代表性的用途是鏡片、 反射鏡等光學元件的加工 for light/ slim/short/ small • 伊士曼․柯達（Eastman Kodak ）公 司:Asperical lens 塑膠透鏡的優、缺點 優點： (1 ）成形容易、製造工程簡單。 (2 ）可以輕量化。 缺點： (1 ）耐熱溫度比玻璃低。 (2 ）折射率隨溫度變化，線膨脹係數約為玻璃的10 倍大，透鏡的焦點位置及性能會變化。 3 ）吸濕性大，透境的折射率及曲率半徑會變化。 4 ）複折射大。 Cheap CD optical pick-up Precision machining • Precision Casting • Precision Forging • Precision Injection • Precision Grinding • Precision Milling • Precision Turning Ultra-precision Machining • Diamond turningWhy diamond Form accuracy 0.1 μm ，Surface roughness nm • Diamond grinding • Fly cutting 超精密加工 • 超精密加工法，以達成超精密的Surface roughness, Form Accuracy, Low damaged layer, Low coat 為首要目的。 • Surfa