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含氟聚酰亚胺光波导120nm宽带耦合器的抗温度变动设计.pdf
23 5 Vol. 23, No. 5
2003 5 ACTA OPTICA SINICA May, 2003
: 2003)
含氟聚酰亚胺光波导120 nm 宽带耦合器的
抗温度变动设计*
1 1 2 3 1 1 1 1
卢红亮 陈抱雪 赵德欣 矶 守 袁一方 贾洪波 梁东波 龙彩华
1 , 200093
2 , 200233
3 , 1848588
: , 1490~
1610 nm , 3 dB
, , 120 nm , 10 40 , ( 0. 500 0. 007)
: ; ; ; ;
: TN253 : A
1 , C- H ,
1550 nm
1550 nm
( DWDM) ,
( d- PFMA: Deuterated Polyfluoro Methacrylate) ,
( AWG) , 1550 nm d- PFMAH D F ,
80~ 100 nm,
C- DC- F ,
, 2 ! N
d- PFMA
2 ! 2 [5]
0. 1 dB/ cm d- PFMA,
3 dB( WINC) [ 1] 1! N
100
[ 2]
3 dB
0. 1 m, Si 280 , d- PFMA
SiO2 SiO ,
2
SiO2 ,
, , ( 6FDA)
(ODA) 2, 2∀- ( ) - 4, 4∀-
, (TFDB)
SiO2
, ,
,
[3]
( PMMA) , , 20 3 dB
[4]
,
* ( ,
( 2000H12) , ,
Email: b chen@ online. sh. cn
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