含氟聚酰亚胺光波导120nm宽带耦合器的抗温度变动设计.pdfVIP

含氟聚酰亚胺光波导120nm宽带耦合器的抗温度变动设计.pdf

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含氟聚酰亚胺光波导120nm宽带耦合器的抗温度变动设计.pdf

23 5 Vol. 23, No. 5 2003 5 ACTA OPTICA SINICA May, 2003 : 2003) 含氟聚酰亚胺光波导120 nm 宽带耦合器的 抗温度变动设计* 1 1 2 3 1 1 1 1 卢红亮 陈抱雪 赵德欣 矶 守 袁一方 贾洪波 梁东波 龙彩华 1 , 200093 2 , 200233 3 , 1848588 : , 1490~ 1610 nm , 3 dB , , 120 nm , 10 40 , ( 0. 500 0. 007) : ; ; ; ; : TN253 : A 1 , C- H , 1550 nm 1550 nm ( DWDM) , ( d- PFMA: Deuterated Polyfluoro Methacrylate) , ( AWG) , 1550 nm d- PFMAH D F , 80~ 100 nm, C- DC- F , , 2 ! N d- PFMA 2 ! 2 [5] 0. 1 dB/ cm d- PFMA, 3 dB( WINC) [ 1] 1! N 100 [ 2] 3 dB 0. 1 m, Si 280 , d- PFMA SiO2 SiO , 2 SiO2 , , , ( 6FDA) (ODA) 2, 2∀- ( ) - 4, 4∀- , (TFDB) SiO2 , , , [3] ( PMMA) , , 20 3 dB [4] , * ( , ( 2000H12) , , Email: b chen@ online. sh. cn

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