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p型单晶硅上电镀纳米Ni—W—P合金电极及其光照析氢研究
维普资讯
第 18卷 第 1n期 应 用 化 学 Vo1.18N0 l0
0001年 l0月 CHINESE JOURNAIOF APPLIED CHEMISTRY 0ct.200l
P型单晶硅上电镀纳米Ni—W—P合金电极
及其光照析氢研究
张卫国 姚素薇 赵转清 龚正烈
(天津大学化工学院应用化学系 天津 31)0072) t天津理工学院 天津)
摘 要 通过 电化学方法在半导体 P型硅上沉积 N~W P台金 ,制备 出具有高催化析氢活性的纳米金属 /半
导体电极.考察 了电沉积工艺条件对电极催化析氢性能的影响,用扫描 电镜 (sEM)观察 了电极 的表面形貌.
结果表明,随着镀液pH值增加、温度升高,N w—P合垒镀层结构由晶态向非晶态转变 在 50℃,pH一6,电
流密度为 15A/am 时,获得了纳米 晶N w P舍垒 ,并考察 了光照下电极的催化析氢活性
美键词 半导体 ,纳米晶N—w—P台金 ,催化析氢
中图分类号:O646.54,1 文献标识码 :A 文章编号:l000—05l8(2(101)10079O04
利用太阳能进行光解水或光助电解水是生态 1.3 电极催化析氢性能测试
清洁能源利用 的一个理想方案 ,而欲实现太阳能 采用天津大学研制 的 “联机 电化学测试系
光解水 ,析氢反应 的电极起着至关重要的作用. 统”,测定电极在 25℃,0.5mol/LHSO 溶液中
纳米材料以其优异的性能成为材料科学中极为活 的阴极极化 曲线 ,评价电极 的催化析氢性能.电
跃 的研究领域 ,被誉为 “21世纪最有前途的材 解池采用三电极体系,辅助电极为大面积铂同,参
料”,NiW P合金薄膜具有较高 的热稳定性 、良 比电极为饱和甘汞 电极 (SCE),扫描速度为
好的可焊性、耐磨性和耐蚀性,因而是一种很有前 2n2VIs.
途的镀层 ,可用于微 电子电路、半导体一金属接触
2 结果与讨论
等场合.Ni—W—P合金还具有 良好 的催化析氢性
能 ],在半导体上镀覆 Ni—W—P合金,可作为光解 2.1 电沉积条件对镀层成分及结构的影响
水的催化剂Es]单晶硅是一种光电转换效率较高 控 制镀 液 中 m (W )/m (Ni+W )一0.75,
的半导体材料 】,本文通过电化学方法 ,在 P型半 HPO 质量浓度为20g/L,改变镀液pH值、温度
导体si上沉积 Ni—W—P合金,制备 了纳米 晶Ni— 及电流密度 ,在 P型硅上电沉积N一W—P合金 ,电
W—PIp—Si电极 ,并对 电极的光 电催化析氢活性进 沉积条件对镀层组成及结构的影响如 图1~图3
行了研究. 所示.
图 卜一图 3结果表明,随着镀液pH值升高 ,
1 实验方法
镀层 中的w 含量增加 ,晶粒细化,由 12,26nm
1.1 工艺流程 (pH一4)到 1,38rim(pH一7),镀层结构由结晶向
P型半导体 si电极 一 +除油 一一 1;lHF 非晶过渡;镀液温度升高,镀层中的(w+P)含量
表面腐蚀 丙酮清洗 一 电镀 增加,当温度高于 0℃时,镀层为非晶结构+电
镀液配方及工艺条件参见文献[5]. 流密度对镀层组成及结构影 响不大.镀液 pH
1.2 电极表面形貌及结构测试 值、电流密度和温度对 N
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