ZrO_2溅射膜的柱状生长机制.pdf

　第 29 卷第 5 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 29 , No. 5 　2 0 0 1 年 10 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY October ,2001 ZrO2 溅射膜的柱状生长机制 夏 　风 , 钱晓良 , 刘石明 , 杨 　欣 , 刘光葵 , 孙尧卿 (华中科技大学材料科学与工程学院 , 武汉 　430074) 摘　要 :气相沉积 ZrO2 膜常为柱状结构 , 要更好地控制 ZrO2 膜性能 , 需要研究 ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律. 在射频溅射条件下沉 ( ) 积了 ZrO2 膜 , 发现该膜的柱状晶具有{111}面织构 , 其底层可能还有等轴晶. 提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 玻璃 基片上形成的柱状晶 ( ) 源自于在基片表面形成的具有{111}面织构的最初晶核 ; 在较为粗糙 多晶Al O 基片表面上形成的柱状晶源自于〈111〉晶向与沉积物质流方 2 3 向一致的晶核择优生长及随后对其它取向的小晶核的吞噬而形成的晶核群. 基片表面粗糙时 , 由于柱状晶核经过晶核筛选产生, 柱状晶底部 可能有等轴晶层 ;若温度较低 , 出现等轴晶层可能性更大. 关键词 :氧化锆 ; 薄膜 ; 溅射 ; 织构 中图分类号:O 484. 1 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :0454 - 5648 (2001) 05 - 0443 - 04 COL UMNAR GROWTH MECHANISM FOR SPUTTERING ZrO THIN FILMS 2 Xia Feng , Qian Xiaolian g , L iu S himing , Yang Xin , L iu Guangkui , S un Yaoqing (Department of Material Science and Engineering , Huazhong University of Science and Technology , Wuhan 　430074) Abstract : Columnar structure is the common microstructure of vapour deposited ZrO2 thin films. To control the properties of ZrO2 thin films , the law about columnar structure formation and evolution should be studied. ZrO th