S i( 001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析.PDF

第 3 1卷 　第 2 期 发 　光 　学 　报 Vo l31 No2 2010年 4 月 CH IN ESE JOURNAL OF LUM IN ESCENCE Ap r. , 20 10 文章编号 : (20 10) 02 020905 S i( 001)衬底上闪锌矿 ZnO 的制备与分析 詹华瀚 , 黄斌旺 , 吴雅苹 , 陈晓航 , 李书平 , 康俊勇 (厦门大学 福建省半导体材料与应用重点实验室 物理系及半导体光子学研究中心 , 福建 厦门　36 1005) ( ) 摘要 : 采用分子束外延方法在室温下于 Si 001 表面上生长 ZnO 材料 。实验发现 :样品为闪锌矿和六角结构 的 ZnO 混合多晶薄膜 ,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构 。在不同参数的高温 退火后 ,这些梯形台柱将变小 ,形成梯形纳米环 ,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等 。分析表明: ZnO 混 ( ) 合多晶薄膜的形成 , 以及表面纳米台柱的演变 ,与 Si 00 1 衬底 、较低温的生长温度及热效应等因素相关联 。 ( ) 关 　键 　词 : 闪锌矿结构 ; 氧化锌 ; 分子束外延生长 ; 硅 001 中图分类号: O472. 1; O482. 31　　PACS: 68. 55. a; 78. 55. Et　　PACC : 7360F; 7855E　　文献标识码 : A ( ) 最近 ,我们尝试室温下在 Si 00 1 衬底上外 1　引　　言 ( ) 延 ZnO 薄膜 ,通过原位扫描隧道显微镜 STM 观 ( ) 氧化锌 ZnO 以其独特的物理特性和广阔的 测到一种梯形纳米结构及其在高温热退火后的演 应用前景引起人们的广泛关注和研究 ,近年来取 化 ,观测到梯形台柱和环状纳米结构 。使用 XRD 得了较大的进展 。理论计算分析表明 ,亚稳态的 分析表明 ,样品主要为闪锌矿结构并杂有六角的 闪锌矿结构 ZnO 相当稳定 ,在器件应用上可能在 ZnO 晶粒 。我们 认 为 : 闪锌矿 结构 ZnO 在 Si ( ) 诸如共价性 、低载流子散射 、高掺杂效率等方面比 00 1 的形成和 Si衬底本身的立方结构 、低温条 六角结构的 ZnO 更具优势 , 并可能有助于突破 件生长 , 以及高精度高可控的 MB E 生长技术有 ZnO 的 p 型掺杂这一难点 。因此 ,研究制备闪